logo
บล็อก

รายละเอียดบล็อก

Created with Pixso. บ้าน Created with Pixso. บล็อก Created with Pixso.

จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก

จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก

2026-02-09

จากแคสเซ็ตไปยังFOUP:วิวัฒนาการของเครื่องบรรทุกแผ่น

เหตุ ใด กล่อง ที่ จับ วาเฟ่ จะ สร้าง อัตโนมัติ ผลิต และ ค่าใช้จ่าย

ในการผลิตครึ่งประสาท ส่วนประกอบที่สําคัญที่สุดบางส่วนก็ไม่น่าจับตามากนักเครื่องบรรทุกแผ่น.

 

เมื่อคนพบ FOUP ครั้งแรก หลายคนคิดว่ามันเป็นกล่องพลาสติกที่แข็งแกร่งและสะอาดกว่า แต่การปฏิบัติกับมันเพียงแค่การบรรจุ

 

FOUP คือภาษาทั่วไประหว่างเครื่องมือกระบวนการ ระบบการจัดการวัสดุอัตโนมัติ สิ่งแวดล้อมขนาดเล็กที่ควบคุม และมาตรฐานอุตสาหกรรม

 

การนํามาใช้มันไม่ใช่การปรับปรุงเพิ่มเติมเครื่องช่วยสร้างฐานะของการผลิตอัตโนมัติขนาดใหญ่ในยุค 300 มม.

 

ก่อนที่ FOUP จะมีอํานาจในช่วงกลางปี 1990 ผู้นําแผ่นวอล์ฟจะดําเนินการตามเส้นทางวิวัฒนาการที่ชัดเจน:

คาเซ็ต → SMIF → FOUP

 

วิวัฒนาการนี้สะท้อนการเปลี่ยนแปลงของอุตสาหกรรมครึ่งนํา จากการดําเนินงานที่มีคนเป็นศูนย์กลางไปยังระบบระดับอัตโนมัติ

 

ข่าว บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก  0

ห้อง สะอาด ไม่ เพียงพอ ผู้ ส่ง ไวรัส เป็น ส่วน หนึ่ง ของ การ ปก ป้อง โรค

มันล่อใจที่จะเชื่อว่าคุณภาพห้องสะอาดที่สูงกว่าจะสามารถแก้ไขปัญหาของการปนเปื้อนได้ แต่ในความเป็นจริงตัวแปรหลักในการผลิตโอฟเฟอร์ไม่ใช่ความสะอาดที่สมบูรณ์แบบ แต่:

กระเป๋าสะพายเปลี่ยนกันบ่อยแค่ไหน ระหว่างการโดดเดี่ยวและการถูกเผชิญกับสิ่งแวดล้อม

โวฟเฟอร์ตัวเดียวอาจผ่านการดําเนินงานหลายร้อยขั้นตอน เช่น ลิโธกราฟี, การฝาก, การถัก, การทําความสะอาด, และการวัด.

หนึ่งในแนวคิดหลักที่อยู่เบื้องหลังSMIF (Standard Mechanical Interface)คือการแยกโวฟเฟอร์ออกจากห้องสะอาดเต็ม และแทนที่จะปกป้องพวกเขาภายในสภาพแวดล้อมขนาดเล็ก, ที่การไหลของอากาศ ความดัน และระดับอนุภาคคงที่มากขึ้น

ในความหมายนี้ เครื่องขนกระเป๋าสะพายไม่เพียงแค่เครื่องมือโลจิสติกส์กลยุทธ์ควบคุมการปนเปื้อน:

  • สายพานเปิดมั่นใจในความสะอาดของโรงงานทั้งหมด และมีความรู้สึกต่อกิจกรรมของมนุษย์และการรบกวนการไหลของอากาศ

  • เครื่องบรรทุกที่ประทับด้วยอินเตอร์เฟซอุปกรณ์มาตรฐานดึงเส้นขอบที่สะอาดลงมาถึง ผิวหน้าเครื่องมือพกพา เพื่อลดการเผชิญหน้าของแผ่น

ยังมีปัจจัยเชิงเชิงปฏิบัติด้วย: เมื่อแผ่นขีดขวางใหญ่ขึ้น เครื่องขนส่งก็หนักขึ้น ความสามารถในการทํางานเพิ่มขึ้น และการใช้งานด้วยมือก็แพงและไม่มั่นคง

ผลลัพธ์ก็คือ การวิวัฒนาการของตัวพาหนะจะเข้ากันตามธรรมชาติในสองเป้าหมาย

การแยกกันจากโรคที่ติดเชื้อได้มากขึ้นและความเข้ากันได้มากขึ้นกับระบบอัตโนมัติ.

ข่าว บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก  1

ยุค คาเซ็ท: ยุคทองคําของเครื่องบรรทุกเปิด (150 มม / 200 มม)

ในยุค 150 มิลลิเมตรและ 200 มิลลิเมตรคาเซ็ต✅โครงสร้างเปิดกรอบที่มีตัวสนับสนุนที่มีสล็อตที่ทําให้เวฟเฟอร์สามารถบรรจุได้ง่ายโดยผู้ใช้งานหรือแขนหุ่นยนต์

ทําไม แคสเต็ป จึง มี ผล

คาเซ็ตเจริญเติบโตเพราะมัน:

  • โครงสร้างง่าย

  • ราคาถูก

  • มีความเข้ากันได้อย่างสูง ระหว่างเครื่องมือ

  • ใช้งานง่ายด้วยมือ

ในสมัยที่อัตโนมัติของอุปกรณ์มีขีดจํากัด คาเซ็ตสนับสนุนการขนส่งวอฟเฟอร์, พัฟเฟอร์, และการบรรทุกเครื่องมืออย่างเพียงพอ

ขอบเขตของความเปิดเผย

ในขณะที่ความต้องการในการผลิตเพิ่มขึ้น มีจุดอ่อนโน้มโครงสร้างสองอย่างที่ชัดเจน

1ความสะอาดขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อมของโรงงาน

ระหว่างการขนส่งและการวางคิว โวฟเฟอร์ถูกเปิดเผยโดยตรงกับการไหลของอากาศภายในและปริมาณอนุภาคที่เกิดจากเครื่องมือและบุคลากร

2. การปรับขนาดไม่ดีต่อขนาดแผ่นขนาดใหญ่

เมื่อกว้างของแผ่นขีดขวางเพิ่มขึ้น ความหนักและความแข็งแรงของพนักงานพกพาเพิ่มขึ้นอย่างคมชัด โครงสร้างที่เปิดให้ความช่วยเหลือน้อยในการทําให้สภาพแวดล้อมเล็กของแผ่นขีดขวางมั่นคง เพิ่มความเสี่ยงในการจัดการ

แคสเทปนั้นคือกล่องส่งของโรงงานครึ่งประสาทในยุคแรก✅น่าเชื่อถือและเป็นจริง แต่ไม่เหมาะกับอนาคตที่มีอัตโนมัติที่สูงขึ้นและงบประมาณการปนเปื้อนที่เข้มข้น

 

ข่าว บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก  2


ยุค SMIF: มินิเอ็นเวอร์นเมนต์และการเกิดของ Interface Thinking

เมื่อเป้าหมายผลผลิตเข้มข้นขึ้น อุตสาหกรรมเริ่มถามคําถามใหม่

แล้วถ้าเราหยุดพึ่งพาการทําความสะอาดทั้งหมด และแทนที่จะปกป้องโวฟเวอร์ในท้องถิ่นล่ะ

การคิดแบบนี้ทําให้SMIF.

แนวคิด SMIF

SMIF นํามา:

  • กล่องปิดสําหรับขนส่งโวฟเฟอร์

  • หน่วยที่ตั้งที่อินเตอร์เฟซเครื่องมือ

  • สภาพแวดล้อมขนาดเล็กที่ควบคุมภายในเครื่องมือกระบวนการ

ผลลัพธ์สําคัญ:

  • เหตุการณ์การเผชิญหน้ากับกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษลดลงอย่างมาก

  • การควบคุมมลพิษระดับอุปกรณ์ไปยังระดับอินเตอร์เฟซ

ที่สําคัญกว่า SMIF นําเสนอแนวคิดที่จะสร้างรูปแบบของเครื่องบินในอนาคตทั้งหมด:

เครื่องบรรทุกเป็นส่วนหนึ่งของระบบอุปกรณ์ ไม่ใช่ถังที่ไม่ทํางาน

ข้อจํากัดของ SMIF

SMIF เป็นส่วนใหญ่ของสารแก้ไข 200 มิลลิเมตร.

  • ความจํากัดในการปรับขนาดเพื่ออัตโนมัติโรงงานเต็ม

  • ความซับซ้อนทางกล

  • การบูรณาการไม่ครบถ้วนกับโลจิสติกส์อัตโนมัติ

การเปลี่ยนไปยังการผลิต 300 มิลลิเมตร ต้องการวิธีแก้ไขที่สะอาด ง่ายกว่า และมีระบบอัตโนมัติมากกว่า


FOUP: รากฐานของการผลิตอัตโนมัติ 300 มม

FOUP (เปิดหน้า โป๊ดรวม) ออกมาพร้อมกับอุปกรณ์กระบวนการ 300 มิลลิเมตรในช่วงกลางปี 1990 ที่ถูกออกแบบตั้งแต่แรกสําหรับโรงงานที่ใช้ระบบอัตโนมัติเต็ม

FOUP ไม่ได้เป็นการปรับปรุงเพิ่มเติมการออกแบบใหม่ระดับระบบ.

ลักษณะสามประการของ FOUP

1สภาพแวดล้อมขนาดเล็กที่ปิดปิด

  • การควบคุมการไหลเวียนอากาศภายในที่มั่นคง และการควบคุมอนุภาค

  • การเผชิญหน้าอย่างต่ําสุดของวอลเฟอร์

  • ปรับปรุงความสม่ําเสมอของผลผลิต

2สถาปัตยกรรมเปิดหน้า

  • อินเตอร์เฟซตรงกับปลายหน้าของเครื่องมือ

  • ไม่จําเป็นต้องมีการลงมือของมนุษย์

  • ปรับปรุงให้เหมาะกับการทํางานของหุ่นยนต์

3มาตรฐานรวมทั่วอุตสาหกรรม

FOUP ทําให้มีระบบมาตรฐานที่ครอบคลุม

  • ขนาดกล

  • พฤติกรรมการ dock

  • อุปกรณ์ประตู

  • การระบุและการสื่อสาร

ซึ่งทําให้โรงงานและผู้ขายอุปกรณ์สามารถทํางานภายในกรอบที่ร่วมกันและสามารถทํางานร่วมกันได้


หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย

ความแข็งแรงของ FOUP® ไม่ได้อยู่ที่โครงการเอง แต่ยังอยู่ในวิธีการเชื่อมต่อกับพื้นฐานอัตโนมัติของโรงงาน

FIMS: มาตรฐานเครื่องจักรอินเตอร์เฟซเปิดหน้า

กําหนดอินเตอร์เฟซทางกลระหว่าง FOUP และเครื่องมือ:

  • กณิตศาสตร์การ dock

  • ลําดับการเปิดประตู

  • พฤติกรรมการปิด

FIMS รับรองว่า FOUPs ทํางานอย่างสม่ําเสมอในอุปกรณ์จากผู้ขายที่แตกต่างกัน

 


PIO: อินเตอร์เฟซ I/O ปานกลาง

กําหนดสัญญาณจับมือระหว่าง FOUP และเครื่องมือ:

  • การตรวจจับความอยู่

  • การยืนยันการ dock

  • สถานที่ส่งที่ปลอดภัย

PIO ทําให้เครื่องมือสามารถรู้ได้ชัดเจนว่าเมื่อไหร่ โฟฟร์จะสามารถแลกเปลี่ยนได้


AMHS: ระบบจัดการวัสดุอัตโนมัติ

ชั้นโลจิสติกส์ทั่วโรงงาน รวมถึง:

  • การขนส่งเครื่องยกบนหัว (OHT)

  • รถที่นําโดยอัตโนมัติ (AGV)

  • เครื่องเก็บและพัฟเฟอร์

รวมกัน ระบบเหล่านี้เปลี่ยนโรงงานที่ทันสมัย เป็นสิ่งที่ใกล้เคียงกับท่าเรืออัตโนมัติเต็ม:

  • FOUPs คือถัง

  • AMHS คือเครือข่ายโลจิสติกส์

  • อุปกรณ์ในการดําเนินงานคือ ทอร์มิเนลการ dock


เหตุ ผล ที่ กล่อง ผลกระทบโดยตรงต่อผลิตและค่าใช้จ่าย

ตัวถือแผ่นวอล์ฟจะกําหนดผลการตรวจสามอย่างที่สําคัญ

1ความถี่ของการเผยแพร่ของแผ่น

การเผชิญหน้าทุกครั้ง จะเพิ่มความเสี่ยงในการบาดเจ็บ
ความเสี่ยงน้อยลง หมายถึงผลตอบแทนที่สูงขึ้น


2. ระดับของอัตโนมัติ

อัตโนมัติให้:

  • เวลาแทคตัคที่มั่นคง

  • การเปลี่ยนแปลงของมนุษย์ที่ลดลง

  • ค่าดําเนินงานระยะยาวต่ํากว่า


3ความสามารถในการทํางานร่วมกันของอุปกรณ์

อินเตอร์เฟซมาตรฐาน หมายถึง:

  • การรับรองเครื่องมือที่เร็วขึ้น

  • ค่าบูรณาการต่ํากว่า

  • การขยายและปรับปรุงโรงงานง่ายขึ้น


สรุป: จากคอนเทนเนอร์สู่โน้ดระบบ

การพัฒนาของตัวบรรทุกแผ่นแสดงให้เห็นถึงการเปลี่ยนแปลงที่ลึกซึ้งในปรัชญาการผลิตครึ่งตัวนํา:

 

ยุค ปรัชญาการออกแบบ
คาเซ็ต ตราบใดที่มันสามารถเก็บขนมปังได้
SMIF ลดการเผชิญหน้ากับสภาพแวดล้อมขนาดเล็กให้น้อยที่สุด
FOUP การอัตโนมัติเป็นอันดับแรก การขับเคลื่อนมาตรฐาน

 

FOUP ในปัจจุบัน ไม่ได้เป็นถังง่ายๆอีกแล้ว
มันคือหน่วยสําคัญในระบบการผลิตที่มีความอุตสาหกรรมสูง

เมื่อคุณเห็นแถวของ FOUP ขับเคลื่อนอยู่บนหัวในโรงงาน คุณไม่ได้แค่มองเห็นโวฟเฟอร์ถูกขนส่ง คุณกําลังเห็นระบบที่ซับซ้อน, มาตรฐาน, อัตโนมัติทํางานอย่างถูกต้องตามที่ออกแบบ

แบนเนอร์
รายละเอียดบล็อก
Created with Pixso. บ้าน Created with Pixso. บล็อก Created with Pixso.

จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก

จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก

2026-02-09

จากแคสเซ็ตไปยังFOUP:วิวัฒนาการของเครื่องบรรทุกแผ่น

เหตุ ใด กล่อง ที่ จับ วาเฟ่ จะ สร้าง อัตโนมัติ ผลิต และ ค่าใช้จ่าย

ในการผลิตครึ่งประสาท ส่วนประกอบที่สําคัญที่สุดบางส่วนก็ไม่น่าจับตามากนักเครื่องบรรทุกแผ่น.

 

เมื่อคนพบ FOUP ครั้งแรก หลายคนคิดว่ามันเป็นกล่องพลาสติกที่แข็งแกร่งและสะอาดกว่า แต่การปฏิบัติกับมันเพียงแค่การบรรจุ

 

FOUP คือภาษาทั่วไประหว่างเครื่องมือกระบวนการ ระบบการจัดการวัสดุอัตโนมัติ สิ่งแวดล้อมขนาดเล็กที่ควบคุม และมาตรฐานอุตสาหกรรม

 

การนํามาใช้มันไม่ใช่การปรับปรุงเพิ่มเติมเครื่องช่วยสร้างฐานะของการผลิตอัตโนมัติขนาดใหญ่ในยุค 300 มม.

 

ก่อนที่ FOUP จะมีอํานาจในช่วงกลางปี 1990 ผู้นําแผ่นวอล์ฟจะดําเนินการตามเส้นทางวิวัฒนาการที่ชัดเจน:

คาเซ็ต → SMIF → FOUP

 

วิวัฒนาการนี้สะท้อนการเปลี่ยนแปลงของอุตสาหกรรมครึ่งนํา จากการดําเนินงานที่มีคนเป็นศูนย์กลางไปยังระบบระดับอัตโนมัติ

 

ข่าว บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก  0

ห้อง สะอาด ไม่ เพียงพอ ผู้ ส่ง ไวรัส เป็น ส่วน หนึ่ง ของ การ ปก ป้อง โรค

มันล่อใจที่จะเชื่อว่าคุณภาพห้องสะอาดที่สูงกว่าจะสามารถแก้ไขปัญหาของการปนเปื้อนได้ แต่ในความเป็นจริงตัวแปรหลักในการผลิตโอฟเฟอร์ไม่ใช่ความสะอาดที่สมบูรณ์แบบ แต่:

กระเป๋าสะพายเปลี่ยนกันบ่อยแค่ไหน ระหว่างการโดดเดี่ยวและการถูกเผชิญกับสิ่งแวดล้อม

โวฟเฟอร์ตัวเดียวอาจผ่านการดําเนินงานหลายร้อยขั้นตอน เช่น ลิโธกราฟี, การฝาก, การถัก, การทําความสะอาด, และการวัด.

หนึ่งในแนวคิดหลักที่อยู่เบื้องหลังSMIF (Standard Mechanical Interface)คือการแยกโวฟเฟอร์ออกจากห้องสะอาดเต็ม และแทนที่จะปกป้องพวกเขาภายในสภาพแวดล้อมขนาดเล็ก, ที่การไหลของอากาศ ความดัน และระดับอนุภาคคงที่มากขึ้น

ในความหมายนี้ เครื่องขนกระเป๋าสะพายไม่เพียงแค่เครื่องมือโลจิสติกส์กลยุทธ์ควบคุมการปนเปื้อน:

  • สายพานเปิดมั่นใจในความสะอาดของโรงงานทั้งหมด และมีความรู้สึกต่อกิจกรรมของมนุษย์และการรบกวนการไหลของอากาศ

  • เครื่องบรรทุกที่ประทับด้วยอินเตอร์เฟซอุปกรณ์มาตรฐานดึงเส้นขอบที่สะอาดลงมาถึง ผิวหน้าเครื่องมือพกพา เพื่อลดการเผชิญหน้าของแผ่น

ยังมีปัจจัยเชิงเชิงปฏิบัติด้วย: เมื่อแผ่นขีดขวางใหญ่ขึ้น เครื่องขนส่งก็หนักขึ้น ความสามารถในการทํางานเพิ่มขึ้น และการใช้งานด้วยมือก็แพงและไม่มั่นคง

ผลลัพธ์ก็คือ การวิวัฒนาการของตัวพาหนะจะเข้ากันตามธรรมชาติในสองเป้าหมาย

การแยกกันจากโรคที่ติดเชื้อได้มากขึ้นและความเข้ากันได้มากขึ้นกับระบบอัตโนมัติ.

ข่าว บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก  1

ยุค คาเซ็ท: ยุคทองคําของเครื่องบรรทุกเปิด (150 มม / 200 มม)

ในยุค 150 มิลลิเมตรและ 200 มิลลิเมตรคาเซ็ต✅โครงสร้างเปิดกรอบที่มีตัวสนับสนุนที่มีสล็อตที่ทําให้เวฟเฟอร์สามารถบรรจุได้ง่ายโดยผู้ใช้งานหรือแขนหุ่นยนต์

ทําไม แคสเต็ป จึง มี ผล

คาเซ็ตเจริญเติบโตเพราะมัน:

  • โครงสร้างง่าย

  • ราคาถูก

  • มีความเข้ากันได้อย่างสูง ระหว่างเครื่องมือ

  • ใช้งานง่ายด้วยมือ

ในสมัยที่อัตโนมัติของอุปกรณ์มีขีดจํากัด คาเซ็ตสนับสนุนการขนส่งวอฟเฟอร์, พัฟเฟอร์, และการบรรทุกเครื่องมืออย่างเพียงพอ

ขอบเขตของความเปิดเผย

ในขณะที่ความต้องการในการผลิตเพิ่มขึ้น มีจุดอ่อนโน้มโครงสร้างสองอย่างที่ชัดเจน

1ความสะอาดขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อมของโรงงาน

ระหว่างการขนส่งและการวางคิว โวฟเฟอร์ถูกเปิดเผยโดยตรงกับการไหลของอากาศภายในและปริมาณอนุภาคที่เกิดจากเครื่องมือและบุคลากร

2. การปรับขนาดไม่ดีต่อขนาดแผ่นขนาดใหญ่

เมื่อกว้างของแผ่นขีดขวางเพิ่มขึ้น ความหนักและความแข็งแรงของพนักงานพกพาเพิ่มขึ้นอย่างคมชัด โครงสร้างที่เปิดให้ความช่วยเหลือน้อยในการทําให้สภาพแวดล้อมเล็กของแผ่นขีดขวางมั่นคง เพิ่มความเสี่ยงในการจัดการ

แคสเทปนั้นคือกล่องส่งของโรงงานครึ่งประสาทในยุคแรก✅น่าเชื่อถือและเป็นจริง แต่ไม่เหมาะกับอนาคตที่มีอัตโนมัติที่สูงขึ้นและงบประมาณการปนเปื้อนที่เข้มข้น

 

ข่าว บริษัท ล่าสุดเกี่ยวกับ จาก แคสเท็ต ไปยัง โฟพ: การ พัฒนา ของ เครื่อง พก กระปุก  2


ยุค SMIF: มินิเอ็นเวอร์นเมนต์และการเกิดของ Interface Thinking

เมื่อเป้าหมายผลผลิตเข้มข้นขึ้น อุตสาหกรรมเริ่มถามคําถามใหม่

แล้วถ้าเราหยุดพึ่งพาการทําความสะอาดทั้งหมด และแทนที่จะปกป้องโวฟเวอร์ในท้องถิ่นล่ะ

การคิดแบบนี้ทําให้SMIF.

แนวคิด SMIF

SMIF นํามา:

  • กล่องปิดสําหรับขนส่งโวฟเฟอร์

  • หน่วยที่ตั้งที่อินเตอร์เฟซเครื่องมือ

  • สภาพแวดล้อมขนาดเล็กที่ควบคุมภายในเครื่องมือกระบวนการ

ผลลัพธ์สําคัญ:

  • เหตุการณ์การเผชิญหน้ากับกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษลดลงอย่างมาก

  • การควบคุมมลพิษระดับอุปกรณ์ไปยังระดับอินเตอร์เฟซ

ที่สําคัญกว่า SMIF นําเสนอแนวคิดที่จะสร้างรูปแบบของเครื่องบินในอนาคตทั้งหมด:

เครื่องบรรทุกเป็นส่วนหนึ่งของระบบอุปกรณ์ ไม่ใช่ถังที่ไม่ทํางาน

ข้อจํากัดของ SMIF

SMIF เป็นส่วนใหญ่ของสารแก้ไข 200 มิลลิเมตร.

  • ความจํากัดในการปรับขนาดเพื่ออัตโนมัติโรงงานเต็ม

  • ความซับซ้อนทางกล

  • การบูรณาการไม่ครบถ้วนกับโลจิสติกส์อัตโนมัติ

การเปลี่ยนไปยังการผลิต 300 มิลลิเมตร ต้องการวิธีแก้ไขที่สะอาด ง่ายกว่า และมีระบบอัตโนมัติมากกว่า


FOUP: รากฐานของการผลิตอัตโนมัติ 300 มม

FOUP (เปิดหน้า โป๊ดรวม) ออกมาพร้อมกับอุปกรณ์กระบวนการ 300 มิลลิเมตรในช่วงกลางปี 1990 ที่ถูกออกแบบตั้งแต่แรกสําหรับโรงงานที่ใช้ระบบอัตโนมัติเต็ม

FOUP ไม่ได้เป็นการปรับปรุงเพิ่มเติมการออกแบบใหม่ระดับระบบ.

ลักษณะสามประการของ FOUP

1สภาพแวดล้อมขนาดเล็กที่ปิดปิด

  • การควบคุมการไหลเวียนอากาศภายในที่มั่นคง และการควบคุมอนุภาค

  • การเผชิญหน้าอย่างต่ําสุดของวอลเฟอร์

  • ปรับปรุงความสม่ําเสมอของผลผลิต

2สถาปัตยกรรมเปิดหน้า

  • อินเตอร์เฟซตรงกับปลายหน้าของเครื่องมือ

  • ไม่จําเป็นต้องมีการลงมือของมนุษย์

  • ปรับปรุงให้เหมาะกับการทํางานของหุ่นยนต์

3มาตรฐานรวมทั่วอุตสาหกรรม

FOUP ทําให้มีระบบมาตรฐานที่ครอบคลุม

  • ขนาดกล

  • พฤติกรรมการ dock

  • อุปกรณ์ประตู

  • การระบุและการสื่อสาร

ซึ่งทําให้โรงงานและผู้ขายอุปกรณ์สามารถทํางานภายในกรอบที่ร่วมกันและสามารถทํางานร่วมกันได้


หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย หน่วย

ความแข็งแรงของ FOUP® ไม่ได้อยู่ที่โครงการเอง แต่ยังอยู่ในวิธีการเชื่อมต่อกับพื้นฐานอัตโนมัติของโรงงาน

FIMS: มาตรฐานเครื่องจักรอินเตอร์เฟซเปิดหน้า

กําหนดอินเตอร์เฟซทางกลระหว่าง FOUP และเครื่องมือ:

  • กณิตศาสตร์การ dock

  • ลําดับการเปิดประตู

  • พฤติกรรมการปิด

FIMS รับรองว่า FOUPs ทํางานอย่างสม่ําเสมอในอุปกรณ์จากผู้ขายที่แตกต่างกัน

 


PIO: อินเตอร์เฟซ I/O ปานกลาง

กําหนดสัญญาณจับมือระหว่าง FOUP และเครื่องมือ:

  • การตรวจจับความอยู่

  • การยืนยันการ dock

  • สถานที่ส่งที่ปลอดภัย

PIO ทําให้เครื่องมือสามารถรู้ได้ชัดเจนว่าเมื่อไหร่ โฟฟร์จะสามารถแลกเปลี่ยนได้


AMHS: ระบบจัดการวัสดุอัตโนมัติ

ชั้นโลจิสติกส์ทั่วโรงงาน รวมถึง:

  • การขนส่งเครื่องยกบนหัว (OHT)

  • รถที่นําโดยอัตโนมัติ (AGV)

  • เครื่องเก็บและพัฟเฟอร์

รวมกัน ระบบเหล่านี้เปลี่ยนโรงงานที่ทันสมัย เป็นสิ่งที่ใกล้เคียงกับท่าเรืออัตโนมัติเต็ม:

  • FOUPs คือถัง

  • AMHS คือเครือข่ายโลจิสติกส์

  • อุปกรณ์ในการดําเนินงานคือ ทอร์มิเนลการ dock


เหตุ ผล ที่ กล่อง ผลกระทบโดยตรงต่อผลิตและค่าใช้จ่าย

ตัวถือแผ่นวอล์ฟจะกําหนดผลการตรวจสามอย่างที่สําคัญ

1ความถี่ของการเผยแพร่ของแผ่น

การเผชิญหน้าทุกครั้ง จะเพิ่มความเสี่ยงในการบาดเจ็บ
ความเสี่ยงน้อยลง หมายถึงผลตอบแทนที่สูงขึ้น


2. ระดับของอัตโนมัติ

อัตโนมัติให้:

  • เวลาแทคตัคที่มั่นคง

  • การเปลี่ยนแปลงของมนุษย์ที่ลดลง

  • ค่าดําเนินงานระยะยาวต่ํากว่า


3ความสามารถในการทํางานร่วมกันของอุปกรณ์

อินเตอร์เฟซมาตรฐาน หมายถึง:

  • การรับรองเครื่องมือที่เร็วขึ้น

  • ค่าบูรณาการต่ํากว่า

  • การขยายและปรับปรุงโรงงานง่ายขึ้น


สรุป: จากคอนเทนเนอร์สู่โน้ดระบบ

การพัฒนาของตัวบรรทุกแผ่นแสดงให้เห็นถึงการเปลี่ยนแปลงที่ลึกซึ้งในปรัชญาการผลิตครึ่งตัวนํา:

 

ยุค ปรัชญาการออกแบบ
คาเซ็ต ตราบใดที่มันสามารถเก็บขนมปังได้
SMIF ลดการเผชิญหน้ากับสภาพแวดล้อมขนาดเล็กให้น้อยที่สุด
FOUP การอัตโนมัติเป็นอันดับแรก การขับเคลื่อนมาตรฐาน

 

FOUP ในปัจจุบัน ไม่ได้เป็นถังง่ายๆอีกแล้ว
มันคือหน่วยสําคัญในระบบการผลิตที่มีความอุตสาหกรรมสูง

เมื่อคุณเห็นแถวของ FOUP ขับเคลื่อนอยู่บนหัวในโรงงาน คุณไม่ได้แค่มองเห็นโวฟเฟอร์ถูกขนส่ง คุณกําลังเห็นระบบที่ซับซ้อน, มาตรฐาน, อัตโนมัติทํางานอย่างถูกต้องตามที่ออกแบบ