วิธีการออกแบบการป้องกันไฟฟ้าแม่เหล็กสําหรับห้องทําความสะอาด SiC ครึ่งกันหนาว

การป้องกันไฟฟ้าแม่เหล็กกําลังกลายเป็นข้อพิจารณาที่สําคัญในการออกแบบห้องสะอาดสําหรับการผลิตเยื่อ SiC แบบประกอบกันครึ่ง

เนื่องจากพื้นฐาน SiC แบบประกอบกันครึ่งมีความต้านทานไฟฟ้าสูง สนามไฟฟ้าแม่เหล็กภายนอกสามารถส่งผลกระทบต่อการกระจายค่าไฟฟ้าและ พลังงานไฟฟ้าบนผิวการ ออกแบบ ปราง ที่ เหมาะสม สามารถ ช่วย ลด ความ สับสน เหล่า นี้ ใน กระบวนการ เซม คอนดักเตอร์ ที่ รู้สึก.

ห้อง สะอาด ทั้ง สูง ไหม?

ไม่จําเป็น

ห้องทําความสะอาด SiC แบบประกอบด้วยสารประกอบกันครึ่ง ควรแบ่งออกตามสภาพการเผชิญหน้ากับสารรองพื้นฐาน ความรู้สึกต่อกระบวนการ และความรู้สึกต่อไฟฟ้าแม่เหล็กของอุปกรณ์

เมื่อโวฟเฟอร์อยู่ภายในตัวบรรทุกที่ปิดปิดตัวนั้นเอง สามารถให้ความคุ้มกันจากไฟฟ้าแม่เหล็กได้ระดับหนึ่งวัสดุพอลิเมอร์ที่นําทางหรือโครงสร้างพอลิเมอร์ที่เคลือบโลหะสามารถใช้สําหรับตัวบรรทุกแผ่น, และกระเป๋าสะพายพนันควรถูกเชื่อมต่อไฟฟ้า

เมื่อกระปุกถูกถอนออกจากตัวบรรทุกและถูกเผยแพร่โดยตรงต่อสภาพแวดล้อมห้องสะอาด การป้องกันระดับอาคารจึงมีความสําคัญมากขึ้น

พื้นที่สําคัญสําหรับการป้องกันไฟฟ้าแม่เหล็ก

พื้นที่การถ่ายภาพ

หลังการเคลือบแสงกันแสง, พื้นผิวของสับสราทอาจมีความรู้สึกเฉพาะเจาะจงต่อการเปลี่ยนแปลงปริมาณไฟฟ้าการ ป้องกัน ด้วย ธ อร์ไฟฟ้า สามารถ ช่วย ให้ การ ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก ปก.

พื้นที่ CMP

การควบคุมศักยภาพพื้นผิวมีความสําคัญในการรักษาพฤติกรรมของสารสกัดที่คงที่และผลการเคลือบที่คงที่

พื้นที่ตรวจสอบ

ระบบตรวจสอบรังสีอิเล็กตรอนและรังสีไอออนมีความรู้สึกสูงต่อการรบกวนของไฟฟ้าแม่เหล็ก ดังนั้นการป้องกันด้วยการป้องกันอิสระจึงแนะนําสําหรับพื้นที่ตรวจสอบที่สําคัญ

โครงสร้างป้องกันทั่วไป

โครงสร้างป้องกันไฟฟ้าแม่เหล็กในห้องสะอาดสามารถรวม:

• พล็อตโลหะ
• ผนัง Mesh โลหะ
• โครงสร้างป้องกันแบบนําไฟที่ติดตั้ง

โครงสร้างเหล่านี้สามารถติดตั้งในผนัง, siling, และพื้น.

วัสดุป้องกันทั่วไปประกอบด้วย:

• ผนังทองแดง
• ผนังเหล็กเหล็กกระปุก
• พล็อตเหล็กดัด

ความหนาและโครงสร้างของชั้นป้องกัน ควรเลือกตามประสิทธิภาพป้องกันที่ต้องการและช่วงความถี่เป้าหมาย

ประสิทธิภาพการป้องกันเป้าหมาย

ระยะความถี่ที่แตกต่างกัน ต้องการเป้าหมายป้องกันที่แตกต่างกัน

เป้าหมายจริงควรถูกกําหนดขึ้นขึ้นอยู่กับการที่การเผชิญหน้ากับไฟฟ้าแม่เหล็กที่ความถี่เฉพาะจะสามารถสร้างการชาร์จ induced เพียงพอที่จะส่งผลต่อความมั่นคงของกระบวนการหรือผลิต

การ รักษา ความ ต่อเนื่อง ของ การ ปก ป้อง

ชั้นป้องกันมีประสิทธิภาพเมื่อความต่อเนื่องของไฟฟ้าถูกต้อง

ความสําคัญของการออกแบบประกอบด้วย:

• เครื่องประกอบไฟฟ้าที่นําไฟฟ้า
• โครงสร้างป้องกันที่ซ้อนกันอย่างน้อย 50 มิลลิเมตร
• หน้าต่างระบายอากาศแบบนําคลื่นสําหรับช่องเปิด
• สายดัดสายประปาในประตู
• ติดต่อไฟฟ้าระยะเต็มระหว่างกรอบประตูและสายประปา

ความขาดต่อเนื่องเล็ก ๆ ช่องว่างหรือช่องเปิดที่ออกแบบไม่ดีสามารถลดประสิทธิภาพการป้องกันโดยรวมได้

การ ทํา ให้ ระบบ ป้องกัน ลง แผ่นดิน

ชั้นป้องกันควรใช้ระบบการก่อดินแบบอัดต่ําที่มีการก่อดินจุดเดียว

ความต้านทานพื้นที่ที่แนะนําคือ ≤ 1 Ω

จุดการติดดินหลายจุดอาจสร้างลุปการติดดิน ความแรงกระแสที่ระบายผ่านลุปเหล่านี้สามารถสร้างสนามแม่เหล็กระดับสองและลดประสิทธิภาพของระบบป้องกัน

สรุป

การป้องกันไฟฟ้าแม่เหล็กที่มีประสิทธิภาพ สําหรับการผลิต SiC แบบประกอบกันครึ่ง ไม่ใช่แค่การเพิ่มแผ่นโลหะเข้าไปในห้องสะอาด

การออกแบบที่ประสบความสําเร็จต้องรวมวัสดุป้องกัน ความต่อเนื่องของโครงสร้าง การเปิดประตู การตั้งพื้นฐาน ผู้บรรทุกแผ่น และการกําหนดภูมิภาคกระบวนการ

โดยการมุ่งเน้นทรัพยากรการป้องกันใน Photolithography, CMP, และพื้นที่ตรวจสอบผู้ผลิตครึ่งตัวนําสามารถสร้างสภาพแวดล้อมการควบคุมไฟฟ้าแม่เหล็กที่มีเป้าหมายมากขึ้น โดยหลีกเลี่ยงการป้องกันที่ไม่จําเป็นทั่วสถานที่ทั้งหมด.