แหวนโฟกัสควอร์ทซ์เป็นส่วนประกอบที่ใช้ในอุปกรณ์การถักพลาสมาแบบครึ่งประจุ โดยทั่วไปผลิตจากควอตซ์หลอมความบริสุทธิ์สูงพวกมันมีบทบาทสําคัญในการควบคุมการกระจายพลาสมาและรักษาผลงานการถักที่คงที่ทั่วพื้นผิวของแผ่น.
ฟังก์ชันหลักของพวกเขาคือการจํากัดและนําทางพลาสมา, โดยเฉพาะอย่างยิ่งรอบขอบแผ่น, ช่วยให้บรรลุอัตราการถักแบบเรียบร้อยและการควบคุมมิติที่สําคัญอย่างแม่นยํา.
ในระหว่างการฉลากพลาสมา แหวนจุดเด่นควอตซ์ทําหน้าที่สําคัญหลายอย่าง
โกณิตศาสตร์และคุณสมบัติไฟฟ้าของวงจรโฟกัสมีอิทธิพลต่อสนามไฟฟ้าและการกระจายพลาสมา ใกล้ขอบแผ่นแหวนช่วยรักษาอัตราการถักที่คงที่และขนาดที่สําคัญในทั้งแผ่น.
เรื่องนี้ยิ่งสําคัญมากขึ้น เนื่องจากอุปกรณ์ครึ่งประสาทยังคงลดตัว และความอดทนในการประมวลผลก็ยิ่งต้องการมากขึ้น
แหวนโฟกัสทําหน้าที่เป็นองค์ประกอบป้องกันที่สามารถเปลี่ยนได้ ที่ดูดซึมการเผชิญหน้าโดยตรงกับพลาสมาที่มีพลังงาน ก๊าซที่มีปฏิกิริยา และการระเบิดไอออน
โดยการป้องกันส่วนประกอบพื้นฐาน เช่น ชัคไฟฟ้าสแตตติก (ESC) แหวนจุดเด่นช่วยลดการเสื่อมของอุปกรณ์, ขยายอายุการใช้งานของส่วนประกอบและลดต้นทุนการบํารุงรักษา
ควาร์ตซ์หลอมความบริสุทธิ์สูงมีปริมาณของสารสกัดโลหะที่ต่ํามาก ลดความเสี่ยงของการติดเชื้อระหว่างการแปรรูปพลาสมา
แหวนโฟกัสควอตซ์ยังช่วยควบคุมการปฏิสัมพันธ์ของพลาสมารอบเขตล้อมของแผ่น และจํากัดการฝากที่ไม่ต้องการหรือการสะสมโพลิมเมอร์ในบริเวณที่สําคัญส่งผลให้มีสภาพแวดล้อมกระบวนการที่สะอาดขึ้น, การปรับปรุงคุณภาพของกระเป๋าและผลผลิตที่มั่นคงมากขึ้น
แหวนโฟกัสสามารถผลิตจากวัสดุที่ก้าวหน้าหลายอย่าง, รวมถึงควอตซ์, อลูมิเนีย, ซิลิคอนคาร์ไบด์และเซรามิกบนพื้นฐาน yttria.ควาร์ทซ์หลอมยังคงถูกใช้อย่างแพร่หลาย เนื่องจากความบริสุทธิ์ที่สมดุล, ความมั่นคงทางความร้อน คุณสมบัติทางไฟฟ้าและความเข้ากันของกระบวนการ
ควาร์ตซ์หลอมประเภทครึ่งตัวนําสามารถบรรลุความบริสุทธิ์ที่ 99.998% หรือสูงกว่าซึ่งเป็นสิ่งจําเป็นในการรักษาผลงานของอุปกรณ์ครึ่งประสาทและผลิตผลิต.
ควาร์ตซ์หลอมให้ความมั่นคงที่ดีในสภาพแวดล้อมกระบวนการครึ่งประสาทหลาย ๆ อัน อัตราการบดลงจริงของมันขึ้นอยู่กับเคมีพลาสมา, พลังงาน RF, สภาพห้องและอุณหภูมิการทํางาน
ในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่มีฟลูอเรน ควาร์ตซ์ถูกบริโภคอย่างช้าช้า และดังนั้นต้องถูกพิจารณาเป็นวัสดุที่ใช้ในกระบวนการที่สามารถเปลี่ยนได้
ควาร์ทซ์หลอมสามารถทนอุณหภูมิกระบวนการสูงและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วคออฟเฟกชันการขยายความร้อนที่ต่ํามาก ช่วยรักษาความมั่นคงของมิติในช่วงรอบการทําความร้อนและทําความเย็นซ้ําๆ.
มีค่าคงที่แบบดียิเลคทริกประมาณ 38ควาร์ตซ์หลอมสามารถส่งผลต่อการกระจายสนามไฟฟ้ารอบขอบของแผ่นนี้ทําให้มันเหมาะสําหรับการควบคุมพฤติกรรมของพลาสมาและปรับปรุงความเรียบร้อยของการฉลาก
แหวนฟอกซ์ควอตซ์ต้องการการแปรรูปที่แม่นยํามาก เพราะขนาด, รูปแบบและสภาพผิวของพวกเขาสามารถส่งผลกระทบต่อการกระจายพลาสมาและความมั่นคงของกระบวนการโดยตรง
กระบวนการผลิตแบบปกติอาจรวมถึง:
ขึ้นอยู่กับรุ่นอุปกรณ์และความต้องการของกระบวนการ ความละเอียดความละเอียดขนาดที่สําคัญอาจถึง ± 0.02 mm หรือแคบกว่าพื้นที่ที่ถูกเลือกด้วยความแม่นยํายังสามารถเคลือบได้ถึงระดับความหยาบคายที่ต่ํามาก.
แหวนโฟกัสควอตซ์ถูกใช้อย่างแพร่หลายในระบบถักพลาสมาสําหรับการผลิตแผ่นแผ่นครึ่งตัว, รวมถึงถักแบบ dielectric, ถัก conductor และกระบวนการถักแห้งอื่น ๆ.
พวกมันสามารถผลิตเป็นชิ้นส่วนสํารองที่กําหนดเองสําหรับแพลตฟอร์มการถักต่างๆ รวมถึงระบบ Applied Materials ที่ได้รับการเลือก เช่น MXP + และ Centuraความเหมาะสมของอุปกรณ์ ควรยืนยันเสมอตามภาพวาดเดิมเลขส่วน การจัดตั้งห้องและสภาพการทํางาน
MaterialSemi จําหน่ายแหวนฟอกซ์ควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงและส่วนประกอบควอตซ์ความแม่นยําอื่น ๆ สําหรับอุปกรณ์การประมวลผลครึ่งประสาท
การปรับแต่งสามารถให้ตาม:
ด้วยการแปรรูปแม่นยํา การควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวด และการเลือกวัสดุความบริสุทธิ์สูง แหวนจุดมุ่งเหินควอตซ์สามารถให้ผลงานที่มั่นคงในการใช้งานถักพลาสมาที่ต้องการ
แหวนโฟกัสควอร์ทซ์เป็นส่วนประกอบที่ใช้ในอุปกรณ์การถักพลาสมาแบบครึ่งประจุ โดยทั่วไปผลิตจากควอตซ์หลอมความบริสุทธิ์สูงพวกมันมีบทบาทสําคัญในการควบคุมการกระจายพลาสมาและรักษาผลงานการถักที่คงที่ทั่วพื้นผิวของแผ่น.
ฟังก์ชันหลักของพวกเขาคือการจํากัดและนําทางพลาสมา, โดยเฉพาะอย่างยิ่งรอบขอบแผ่น, ช่วยให้บรรลุอัตราการถักแบบเรียบร้อยและการควบคุมมิติที่สําคัญอย่างแม่นยํา.
ในระหว่างการฉลากพลาสมา แหวนจุดเด่นควอตซ์ทําหน้าที่สําคัญหลายอย่าง
โกณิตศาสตร์และคุณสมบัติไฟฟ้าของวงจรโฟกัสมีอิทธิพลต่อสนามไฟฟ้าและการกระจายพลาสมา ใกล้ขอบแผ่นแหวนช่วยรักษาอัตราการถักที่คงที่และขนาดที่สําคัญในทั้งแผ่น.
เรื่องนี้ยิ่งสําคัญมากขึ้น เนื่องจากอุปกรณ์ครึ่งประสาทยังคงลดตัว และความอดทนในการประมวลผลก็ยิ่งต้องการมากขึ้น
แหวนโฟกัสทําหน้าที่เป็นองค์ประกอบป้องกันที่สามารถเปลี่ยนได้ ที่ดูดซึมการเผชิญหน้าโดยตรงกับพลาสมาที่มีพลังงาน ก๊าซที่มีปฏิกิริยา และการระเบิดไอออน
โดยการป้องกันส่วนประกอบพื้นฐาน เช่น ชัคไฟฟ้าสแตตติก (ESC) แหวนจุดเด่นช่วยลดการเสื่อมของอุปกรณ์, ขยายอายุการใช้งานของส่วนประกอบและลดต้นทุนการบํารุงรักษา
ควาร์ตซ์หลอมความบริสุทธิ์สูงมีปริมาณของสารสกัดโลหะที่ต่ํามาก ลดความเสี่ยงของการติดเชื้อระหว่างการแปรรูปพลาสมา
แหวนโฟกัสควอตซ์ยังช่วยควบคุมการปฏิสัมพันธ์ของพลาสมารอบเขตล้อมของแผ่น และจํากัดการฝากที่ไม่ต้องการหรือการสะสมโพลิมเมอร์ในบริเวณที่สําคัญส่งผลให้มีสภาพแวดล้อมกระบวนการที่สะอาดขึ้น, การปรับปรุงคุณภาพของกระเป๋าและผลผลิตที่มั่นคงมากขึ้น
แหวนโฟกัสสามารถผลิตจากวัสดุที่ก้าวหน้าหลายอย่าง, รวมถึงควอตซ์, อลูมิเนีย, ซิลิคอนคาร์ไบด์และเซรามิกบนพื้นฐาน yttria.ควาร์ทซ์หลอมยังคงถูกใช้อย่างแพร่หลาย เนื่องจากความบริสุทธิ์ที่สมดุล, ความมั่นคงทางความร้อน คุณสมบัติทางไฟฟ้าและความเข้ากันของกระบวนการ
ควาร์ตซ์หลอมประเภทครึ่งตัวนําสามารถบรรลุความบริสุทธิ์ที่ 99.998% หรือสูงกว่าซึ่งเป็นสิ่งจําเป็นในการรักษาผลงานของอุปกรณ์ครึ่งประสาทและผลิตผลิต.
ควาร์ตซ์หลอมให้ความมั่นคงที่ดีในสภาพแวดล้อมกระบวนการครึ่งประสาทหลาย ๆ อัน อัตราการบดลงจริงของมันขึ้นอยู่กับเคมีพลาสมา, พลังงาน RF, สภาพห้องและอุณหภูมิการทํางาน
ในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่มีฟลูอเรน ควาร์ตซ์ถูกบริโภคอย่างช้าช้า และดังนั้นต้องถูกพิจารณาเป็นวัสดุที่ใช้ในกระบวนการที่สามารถเปลี่ยนได้
ควาร์ทซ์หลอมสามารถทนอุณหภูมิกระบวนการสูงและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วคออฟเฟกชันการขยายความร้อนที่ต่ํามาก ช่วยรักษาความมั่นคงของมิติในช่วงรอบการทําความร้อนและทําความเย็นซ้ําๆ.
มีค่าคงที่แบบดียิเลคทริกประมาณ 38ควาร์ตซ์หลอมสามารถส่งผลต่อการกระจายสนามไฟฟ้ารอบขอบของแผ่นนี้ทําให้มันเหมาะสําหรับการควบคุมพฤติกรรมของพลาสมาและปรับปรุงความเรียบร้อยของการฉลาก
แหวนฟอกซ์ควอตซ์ต้องการการแปรรูปที่แม่นยํามาก เพราะขนาด, รูปแบบและสภาพผิวของพวกเขาสามารถส่งผลกระทบต่อการกระจายพลาสมาและความมั่นคงของกระบวนการโดยตรง
กระบวนการผลิตแบบปกติอาจรวมถึง:
ขึ้นอยู่กับรุ่นอุปกรณ์และความต้องการของกระบวนการ ความละเอียดความละเอียดขนาดที่สําคัญอาจถึง ± 0.02 mm หรือแคบกว่าพื้นที่ที่ถูกเลือกด้วยความแม่นยํายังสามารถเคลือบได้ถึงระดับความหยาบคายที่ต่ํามาก.
แหวนโฟกัสควอตซ์ถูกใช้อย่างแพร่หลายในระบบถักพลาสมาสําหรับการผลิตแผ่นแผ่นครึ่งตัว, รวมถึงถักแบบ dielectric, ถัก conductor และกระบวนการถักแห้งอื่น ๆ.
พวกมันสามารถผลิตเป็นชิ้นส่วนสํารองที่กําหนดเองสําหรับแพลตฟอร์มการถักต่างๆ รวมถึงระบบ Applied Materials ที่ได้รับการเลือก เช่น MXP + และ Centuraความเหมาะสมของอุปกรณ์ ควรยืนยันเสมอตามภาพวาดเดิมเลขส่วน การจัดตั้งห้องและสภาพการทํางาน
MaterialSemi จําหน่ายแหวนฟอกซ์ควอตซ์ความบริสุทธิ์สูงและส่วนประกอบควอตซ์ความแม่นยําอื่น ๆ สําหรับอุปกรณ์การประมวลผลครึ่งประสาท
การปรับแต่งสามารถให้ตาม:
ด้วยการแปรรูปแม่นยํา การควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวด และการเลือกวัสดุความบริสุทธิ์สูง แหวนจุดมุ่งเหินควอตซ์สามารถให้ผลงานที่มั่นคงในการใช้งานถักพลาสมาที่ต้องการ
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
हिन्दी
Türkçe
indonesia
tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
polski