คําแนะนํา
ในการผลิตครึ่งประสาทที่ก้าวหน้า คุณภาพของแผ่นขนาบไม่ได้ถูกส่งผลกระทบโดยการเจริญเติบโตของกระจก กระจกกระจกกระจก กระจกกระจกกระจกกระจก และกระบวนการถักและถูกเก็บไว้ตลอดวงจรการผลิตเมื่อขนาดของอุปกรณ์ยังคงลดลง และกว้างของแผ่นขีดขวางเพิ่มขึ้น ความอดทนต่อการปนเปื้อน ความเครียดทางกล และความผิดสอดคล้อง
ระบบการจัดการแผ่นแผ่น, โดยเฉพาะ Front Opening Unified Pods (FOUPs) และเครื่องบรรทุกแผ่น, มีบทบาทสําคัญในการรักษาความสมบูรณ์แบบของแผ่นและการรับประกันผลงานกระบวนการที่มั่นคงความเหมาะสมของเครื่องมือบทความนี้พิจารณาความสําคัญทางเทคนิคของการจัดการและการเก็บกระเบื้อง โดยเน้น FOUPs และตัวบรรทุกกระเบื้องความคิดสําคัญ, และความต้องการเฉพาะการใช้งาน
บทบาทสําคัญของการรับมือกับแผ่นขีดเหล็กในการควบคุมผลผลิต
โวฟเฟอร์ครึ่งประสาทโดยทั่วไปผ่านการแปรรูปหลายร้อยขั้นตอน การเคลื่อนย้ายซ้ําๆระหว่างเครื่องมือการผลิต สถานที่ตรวจสอบ และสถานที่เก็บของชั่วคราวโวฟเฟอร์ถูกเผชิญกับความเสี่ยงที่เป็นไปได้ เช่น การติดเชื้อด้วยอนุภาค, ความสั่นสะเทือนทางกล, การปล่อยไฟฟ้าสแตตติก, การออกก๊าซทางเคมี, และความผิด
แม้แต่ปริมาณเล็ก ๆ ของอนุภาคที่นําเข้ามาในระหว่างการจัดการอาจส่งผลให้เกิดอาการบกพร่องที่น่าเสียหายในหน่วยงานที่มีความทันสมัยความบกพร่องที่เกี่ยวข้องกับการจัดการ ส่งผลประโยชน์อย่างสําคัญต่อการสูญเสียผลผลผลิตโดยรวมผลลัพธ์คือ การจัดการกับขีดขีดจะมองว่าเป็นส่วนหนึ่งที่สําคัญของการควบคุมกระบวนการมากกว่าหน้าที่โลจิสติกส์ที่รอง
ภาพรวมของ Wafer การจัดการและการจัดเก็บคําตอบ
โซลูชั่นการจัดการและการเก็บของแผ่นขนาบโดยทั่วไปสามารถแบ่งออกเป็นสามกลุ่ม. อันดับแรกคือ FOUPs ซึ่งใช้กันเป็นหลักในโรงงานอัตโนมัติขนาด 300 มม. อันดับที่สองคือตัวบรรทุกแผ่นขนาบซึ่งสามารถเปิดหรือปิด และใช้กันทั่วไปในงานวิจัยกลุ่มที่ 3 ประกอบด้วยกล่องขนส่งและคอนเทนเนอร์ป้องกันที่ออกแบบเพื่อการขนส่งระหว่างสถานที่
ในตัวเลือกเหล่านี้ FOUPs และตัวบรรทุกแผ่นเป็นที่เกี่ยวข้องมากที่สุดกับการจัดการในโรงงานและการเก็บรักษาระยะสั้น, ที่การควบคุมการปนเปื้อนและความมั่นคงทางกลมีความสําคัญ
FOUP: ปรัชญาการออกแบบและบทบาทการทํางาน
FOUP เป็นถ้วยขนส่งแผ่นแผ่นที่ปิด โดยหลักแล้วถูกพัฒนาขึ้นสําหรับแผ่นแผ่นขนาด 300 มม. มันถูกออกแบบมาเพื่อเชื่อมต่อได้อย่างต่อเนื่องกับระบบการจัดการวัสดุอัตโนมัติและเครื่องมือกระบวนการครึ่งประสาทไม่เหมือนกับแคสเทปเปิด, FOUP สร้างสิ่งแวดล้อมขนาดเล็กที่ควบคุมได้ ซึ่งแยกแผ่นจากอากาศรอบตัวและอนุภาคในอากาศ
FOUPs ได้ถูกออกแบบมาเพื่อรองรับโรงงานอัตโนมัติเต็มที่ ทําให้สามารถผลิตผลิตได้อย่างรวดเร็ว และยังคงมีความสะอาดอย่างเข้มงวดสภาพแวดล้อมที่ควบคุมภายใน FOUP ลดการฝากอนุภาคและจํากัดการเผชิญหน้ากับสารปนเปื้อนโมเลกุลที่อาจส่งผลต่อกระบวนการที่มีความรู้สึก เช่น การทําเลหะและการสร้างประตู.
คุณลักษณะการออกแบบหลักของ FOUP ได้แก่กลไกประตูเปิดด้านหน้า หนุนกระดาษในกระดาษที่พับด้วยความแม่นยํา ช่องปิดปิดที่มีลักษณะการไหลอากาศที่กําหนดไว้และวัสดุที่คัดเลือกเพื่อการออกแก๊สน้อยและความมั่นคงทางเคมีFOUPs มากมายยังรวมวัสดุนําหรือ dissipative เพื่อบรรเทาการปล่อยไฟฟ้าสแตตติก
ความพิจารณาที่สําคัญสําหรับ FOUPs
วัสดุที่ใช้ในการก่อสร้าง FOUP ถูกเลือกขึ้นอยู่กับความต้องการการทํางานที่เข้มงวดวัสดุทั่วไปประกอบด้วยพอลิเมอร์วิศวกรรมความบริสุทธิ์สูง เช่น พอลิการ์บอเนตหรือพลาสติกพิเศษที่มีคุณสมบัติพื้นผิวที่ควบคุมวัสดุเหล่านี้ต้องแสดงให้เห็นการสร้างอนุภาคต่ํา การปนเปื้อนไอออนอย่างน้อย และทนต่อสารเคมีในการทําความสะอาด
พฤติกรรมการออกก๊าซเป็นข้อพิจารณาสําคัญสารประกอบอินทรีย์ลอยที่ปล่อยจากวัสดุ FOUP สามารถสะกด onto ผิว wafer และรบกวนการทํางาน photoresist หรือผูกพันหนังบางผลลัพธ์คือวัสดุ FOUP มักได้รับคุณสมบัติผ่านการทดสอบอย่างยาวนานเพื่อให้แน่ใจว่ามีความเหมาะสมกับหน่วยกระบวนการที่ก้าวหน้า
เครื่องบรรทุกแผ่น: ความหลากหลายและขอบเขตการใช้
เครื่องบรรจุแผ่นขนาบถูกใช้อย่างแพร่หลายในสภาพแวดล้อมการผลิตครึ่งประสาทที่ไม่ต้องการอัตโนมัติเต็มที่หรือที่ขนาดและวัสดุของแผ่นขนาบแตกต่างกันเครื่องบรรทุกแผ่นอาจเปิดหรือปิดบางส่วน และถูกใช้ทั่วไปสําหรับ 100 mmวอฟเฟอร์ขนาด 150 มิลลิเมตร และ 200 มิลลิเมตร รวมถึงสับสราทพิเศษ เช่น ซิลิคอนคาร์บิด, ซาฟฟียร์, กัลเลียมไนทรีด และซ้อนครึ่งประสาท
เครื่องบรรทุกแผ่นกระดาษถูกออกแบบมาเพื่อถือแผ่นกระดาษในทิศทางคงที่ที่มีระยะห่างที่กําหนดไว้, ลดการสัมผัสของแผ่นกระดาษกับแผ่นกระดาษและความเครียดทางกลให้น้อยที่สุดการขนส่งด้วยมือ, กระแสงานการวัดและสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการ
การออกแบบและการพิจารณาด้านวิศวกรรมของตัวบรรทุกแผ่น
การออกแบบของตัวบรรทุกแผ่นต้องคํานวณปริมาตรสําคัญหลายอย่าง จิตรศาสตร์สล็อตและระยะห่างต้องตรงกับความหนาและกว้างของแผ่นเพื่อป้องกันการบดขอบหรือการบิดวัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุ พัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุ.
สําหรับแผ่นครึ่งตัวประกอบ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์หรือซาฟฟีร์ มีข้อพิจารณาเพิ่มเติมขึ้น เนื่องจากความแข็งแรงและความเปราะบางสูงขึ้นผู้รับใช้ที่ใช้สําหรับวัสดุเหล่านี้มักต้องการความอดทนขนาดที่เข้มข้นและการสนับสนุนทางเครื่องกลที่เพิ่มเติมเพื่อป้องกันการแตกเล็ก ๆ.
การคัดเลือกวัสดุสําหรับตัวบรรทุกแผ่นรวมถึงพอลิเมอร์, ควาร์ตซ์ และวัสดุเซรามิก ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิกระบวนการ, การเผชิญหน้ากับสารเคมี, และความสะอาดความต้องการในอุณหภูมิสูงหรือสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง, เครื่องพนันเซรามิกหรือเคลือบสามารถถูกเลือกสําหรับความมั่นคงและความทนทานของพวกเขา
การ ปก ป้อง การ โรค และ ความ สะอาด
การควบคุมปนเปื้อนเป็นหน้าที่หลักของทั้ง FOUP และตัวบรรทุกแผ่นขยะ แหล่งของปนเปื้อนประกอบด้วยอนุภาคในอากาศและการดึงดูดไฟฟ้าของอนุภาค.
FOUPs ปรับลดความเสี่ยงเหล่านี้โดยการให้บริการสภาพแวดล้อมที่ปิดปิดที่มีการควบคุมการไหลของอากาศและการเผชิญหน้าของแผ่นขีดจํากัดและโปรโตคอลการจัดการห้องสะอาดในทั้งสองกรณี การทําความสะอาดและตรวจสอบเป็นประจําเป็นสิ่งจําเป็นในการรักษาผลงาน
โรงงานที่มีความก้าวหน้ามักนํามาใช้ขั้นตอนการประเมินคุณสมบัติในการจัดการอุปกรณ์ รวมถึงการทดสอบการปล่อยอนุภาคและการประเมินความเข้ากันได้ทางเคมีมาตรการเหล่านี้จะทําให้ระบบการจัดการแผ่นไม กลายเป็นแหล่งที่ซ่อนอยู่ของการสูญเสียผลผลิต.
ความเครียดทางกลและความสมบูรณ์แบบของแผ่น
ความเครียดทางกลที่นํามาในระหว่างการรับมือสามารถนําไปสู่การบุกกระดาษ, การแตกเล็กน้อย, หรือความเสียหายของขอบ.ความบกพร่องเหล่านี้อาจไม่เห็นได้ทันที แต่สามารถแพร่กระจายในช่วงขั้นตอนการแปรรูปทางอุณหภูมิหรือกลไก.
ทั้ง FOUPs และตัวบรรทุกแผ่นกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษการปรับตรงที่เหมาะสมระหว่างการบรรทุกและการปล่อยของจําเป็นเพื่อป้องกันการสัมผัสกับผนังพกพาหรือแผ่นเยือน.
การบูรณาการกับระบบอัตโนมัติและระบบมือ
FOUPs ถูกปรับปรุงให้เข้ากับระบบการผลิตที่อัตโนมัติเต็มที่ รวมถึงการทํางานของหุ่นยนต์และการขนส่งอากาศอินเตอร์เฟซที่มาตรฐานของพวกเขาทําให้สามารถเชื่อมโยงได้อย่างน่าเชื่อถือกับเครื่องมือกระบวนการและลดการแทรกแซงของผู้ประกอบการ.
หน่วยบรรจุแผ่นสับปะทะ ในทางตรงกันข้าม มีความยืดหยุ่นมากขึ้นสําหรับสภาพแวดล้อมมือและครึ่งอัตโนมัติและการผลิตพิเศษที่มีการเปลี่ยนแปลงกระบวนการบ่อย ๆ.
แนวโน้มที่กําลังเกิดขึ้นในการจัดการและการเก็บกระปุก
ในขณะที่การผลิตครึ่งประสาทมีการพัฒนาต่อไป ระบบการจัดการกับแผ่นขั้วก็พัฒนาอยู่ด้วยแนวโน้มรวมถึงการพัฒนา FOUPs ที่ฉลาดที่มีเซ็นเซอร์ที่ติดตามสภาพแวดล้อม, วัสดุที่ปรับปรุงขึ้นสําหรับการออกแก๊สที่ต่ํามาก และพนักงานที่กําหนดเองสําหรับการบรรจุที่ทันสมัยและการบูรณาการแบบไม่เหมือนกัน
การนํามาใช้วัสดุที่มีความกว้างขวางอย่างเช่นซิลิคอนคาร์ไบด์และกัลลিয়ামไนทรีดเพิ่มมากขึ้น กําลังผลักดันความต้องการสําหรับการจัดการเฉพาะเจาะจงที่สามารถรองรับคุณสมบัติวัสดุที่เป็นเอกลักษณ์
สรุป
การจัดการและการเก็บของวอฟเฟอร์เป็นองค์ประกอบพื้นฐานของการผลิตครึ่งนําที่ส่งผลกระทบตรงต่อผลผลิต ความน่าเชื่อถือและความมั่นคงของกระบวนการFOUPs และตัวบรรจุแผ่นวอล์ฟมีหน้าที่แตกต่างกัน แต่เป็นการเติมเต็ม, แต่ละตัวตอบสนองความต้องการเฉพาะเจาะจงที่เกี่ยวข้องกับอัตโนมัติ ความสะอาดและความเข้ากันของวัสดุ
เมื่อความซับซ้อนของอุปกรณ์เพิ่มขึ้นและความอนุญาตที่เข้มข้น ความสําคัญของระบบการจัดการแผ่นแผ่นที่มีการออกแบบอย่างดีจะยังคงเพิ่มขึ้นการลงทุนใน FOUP ที่เหมาะสมและการแก้ไขการขนของโวฟเฟอร์ ไม่ใช่แค่เรื่องของโลจิสติกส์แต่เป็นการตัดสินใจทางกลยุทธ์ ที่สนับสนุนผลงานการผลิตและความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีในระยะยาว
คําแนะนํา
ในการผลิตครึ่งประสาทที่ก้าวหน้า คุณภาพของแผ่นขนาบไม่ได้ถูกส่งผลกระทบโดยการเจริญเติบโตของกระจก กระจกกระจกกระจก กระจกกระจกกระจกกระจก และกระบวนการถักและถูกเก็บไว้ตลอดวงจรการผลิตเมื่อขนาดของอุปกรณ์ยังคงลดลง และกว้างของแผ่นขีดขวางเพิ่มขึ้น ความอดทนต่อการปนเปื้อน ความเครียดทางกล และความผิดสอดคล้อง
ระบบการจัดการแผ่นแผ่น, โดยเฉพาะ Front Opening Unified Pods (FOUPs) และเครื่องบรรทุกแผ่น, มีบทบาทสําคัญในการรักษาความสมบูรณ์แบบของแผ่นและการรับประกันผลงานกระบวนการที่มั่นคงความเหมาะสมของเครื่องมือบทความนี้พิจารณาความสําคัญทางเทคนิคของการจัดการและการเก็บกระเบื้อง โดยเน้น FOUPs และตัวบรรทุกกระเบื้องความคิดสําคัญ, และความต้องการเฉพาะการใช้งาน
บทบาทสําคัญของการรับมือกับแผ่นขีดเหล็กในการควบคุมผลผลิต
โวฟเฟอร์ครึ่งประสาทโดยทั่วไปผ่านการแปรรูปหลายร้อยขั้นตอน การเคลื่อนย้ายซ้ําๆระหว่างเครื่องมือการผลิต สถานที่ตรวจสอบ และสถานที่เก็บของชั่วคราวโวฟเฟอร์ถูกเผชิญกับความเสี่ยงที่เป็นไปได้ เช่น การติดเชื้อด้วยอนุภาค, ความสั่นสะเทือนทางกล, การปล่อยไฟฟ้าสแตตติก, การออกก๊าซทางเคมี, และความผิด
แม้แต่ปริมาณเล็ก ๆ ของอนุภาคที่นําเข้ามาในระหว่างการจัดการอาจส่งผลให้เกิดอาการบกพร่องที่น่าเสียหายในหน่วยงานที่มีความทันสมัยความบกพร่องที่เกี่ยวข้องกับการจัดการ ส่งผลประโยชน์อย่างสําคัญต่อการสูญเสียผลผลผลิตโดยรวมผลลัพธ์คือ การจัดการกับขีดขีดจะมองว่าเป็นส่วนหนึ่งที่สําคัญของการควบคุมกระบวนการมากกว่าหน้าที่โลจิสติกส์ที่รอง
ภาพรวมของ Wafer การจัดการและการจัดเก็บคําตอบ
โซลูชั่นการจัดการและการเก็บของแผ่นขนาบโดยทั่วไปสามารถแบ่งออกเป็นสามกลุ่ม. อันดับแรกคือ FOUPs ซึ่งใช้กันเป็นหลักในโรงงานอัตโนมัติขนาด 300 มม. อันดับที่สองคือตัวบรรทุกแผ่นขนาบซึ่งสามารถเปิดหรือปิด และใช้กันทั่วไปในงานวิจัยกลุ่มที่ 3 ประกอบด้วยกล่องขนส่งและคอนเทนเนอร์ป้องกันที่ออกแบบเพื่อการขนส่งระหว่างสถานที่
ในตัวเลือกเหล่านี้ FOUPs และตัวบรรทุกแผ่นเป็นที่เกี่ยวข้องมากที่สุดกับการจัดการในโรงงานและการเก็บรักษาระยะสั้น, ที่การควบคุมการปนเปื้อนและความมั่นคงทางกลมีความสําคัญ
FOUP: ปรัชญาการออกแบบและบทบาทการทํางาน
FOUP เป็นถ้วยขนส่งแผ่นแผ่นที่ปิด โดยหลักแล้วถูกพัฒนาขึ้นสําหรับแผ่นแผ่นขนาด 300 มม. มันถูกออกแบบมาเพื่อเชื่อมต่อได้อย่างต่อเนื่องกับระบบการจัดการวัสดุอัตโนมัติและเครื่องมือกระบวนการครึ่งประสาทไม่เหมือนกับแคสเทปเปิด, FOUP สร้างสิ่งแวดล้อมขนาดเล็กที่ควบคุมได้ ซึ่งแยกแผ่นจากอากาศรอบตัวและอนุภาคในอากาศ
FOUPs ได้ถูกออกแบบมาเพื่อรองรับโรงงานอัตโนมัติเต็มที่ ทําให้สามารถผลิตผลิตได้อย่างรวดเร็ว และยังคงมีความสะอาดอย่างเข้มงวดสภาพแวดล้อมที่ควบคุมภายใน FOUP ลดการฝากอนุภาคและจํากัดการเผชิญหน้ากับสารปนเปื้อนโมเลกุลที่อาจส่งผลต่อกระบวนการที่มีความรู้สึก เช่น การทําเลหะและการสร้างประตู.
คุณลักษณะการออกแบบหลักของ FOUP ได้แก่กลไกประตูเปิดด้านหน้า หนุนกระดาษในกระดาษที่พับด้วยความแม่นยํา ช่องปิดปิดที่มีลักษณะการไหลอากาศที่กําหนดไว้และวัสดุที่คัดเลือกเพื่อการออกแก๊สน้อยและความมั่นคงทางเคมีFOUPs มากมายยังรวมวัสดุนําหรือ dissipative เพื่อบรรเทาการปล่อยไฟฟ้าสแตตติก
ความพิจารณาที่สําคัญสําหรับ FOUPs
วัสดุที่ใช้ในการก่อสร้าง FOUP ถูกเลือกขึ้นอยู่กับความต้องการการทํางานที่เข้มงวดวัสดุทั่วไปประกอบด้วยพอลิเมอร์วิศวกรรมความบริสุทธิ์สูง เช่น พอลิการ์บอเนตหรือพลาสติกพิเศษที่มีคุณสมบัติพื้นผิวที่ควบคุมวัสดุเหล่านี้ต้องแสดงให้เห็นการสร้างอนุภาคต่ํา การปนเปื้อนไอออนอย่างน้อย และทนต่อสารเคมีในการทําความสะอาด
พฤติกรรมการออกก๊าซเป็นข้อพิจารณาสําคัญสารประกอบอินทรีย์ลอยที่ปล่อยจากวัสดุ FOUP สามารถสะกด onto ผิว wafer และรบกวนการทํางาน photoresist หรือผูกพันหนังบางผลลัพธ์คือวัสดุ FOUP มักได้รับคุณสมบัติผ่านการทดสอบอย่างยาวนานเพื่อให้แน่ใจว่ามีความเหมาะสมกับหน่วยกระบวนการที่ก้าวหน้า
เครื่องบรรทุกแผ่น: ความหลากหลายและขอบเขตการใช้
เครื่องบรรจุแผ่นขนาบถูกใช้อย่างแพร่หลายในสภาพแวดล้อมการผลิตครึ่งประสาทที่ไม่ต้องการอัตโนมัติเต็มที่หรือที่ขนาดและวัสดุของแผ่นขนาบแตกต่างกันเครื่องบรรทุกแผ่นอาจเปิดหรือปิดบางส่วน และถูกใช้ทั่วไปสําหรับ 100 mmวอฟเฟอร์ขนาด 150 มิลลิเมตร และ 200 มิลลิเมตร รวมถึงสับสราทพิเศษ เช่น ซิลิคอนคาร์บิด, ซาฟฟียร์, กัลเลียมไนทรีด และซ้อนครึ่งประสาท
เครื่องบรรทุกแผ่นกระดาษถูกออกแบบมาเพื่อถือแผ่นกระดาษในทิศทางคงที่ที่มีระยะห่างที่กําหนดไว้, ลดการสัมผัสของแผ่นกระดาษกับแผ่นกระดาษและความเครียดทางกลให้น้อยที่สุดการขนส่งด้วยมือ, กระแสงานการวัดและสภาพแวดล้อมห้องปฏิบัติการ
การออกแบบและการพิจารณาด้านวิศวกรรมของตัวบรรทุกแผ่น
การออกแบบของตัวบรรทุกแผ่นต้องคํานวณปริมาตรสําคัญหลายอย่าง จิตรศาสตร์สล็อตและระยะห่างต้องตรงกับความหนาและกว้างของแผ่นเพื่อป้องกันการบดขอบหรือการบิดวัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุ พัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุพัสดุ.
สําหรับแผ่นครึ่งตัวประกอบ เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์หรือซาฟฟีร์ มีข้อพิจารณาเพิ่มเติมขึ้น เนื่องจากความแข็งแรงและความเปราะบางสูงขึ้นผู้รับใช้ที่ใช้สําหรับวัสดุเหล่านี้มักต้องการความอดทนขนาดที่เข้มข้นและการสนับสนุนทางเครื่องกลที่เพิ่มเติมเพื่อป้องกันการแตกเล็ก ๆ.
การคัดเลือกวัสดุสําหรับตัวบรรทุกแผ่นรวมถึงพอลิเมอร์, ควาร์ตซ์ และวัสดุเซรามิก ขึ้นอยู่กับอุณหภูมิกระบวนการ, การเผชิญหน้ากับสารเคมี, และความสะอาดความต้องการในอุณหภูมิสูงหรือสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง, เครื่องพนันเซรามิกหรือเคลือบสามารถถูกเลือกสําหรับความมั่นคงและความทนทานของพวกเขา
การ ปก ป้อง การ โรค และ ความ สะอาด
การควบคุมปนเปื้อนเป็นหน้าที่หลักของทั้ง FOUP และตัวบรรทุกแผ่นขยะ แหล่งของปนเปื้อนประกอบด้วยอนุภาคในอากาศและการดึงดูดไฟฟ้าของอนุภาค.
FOUPs ปรับลดความเสี่ยงเหล่านี้โดยการให้บริการสภาพแวดล้อมที่ปิดปิดที่มีการควบคุมการไหลของอากาศและการเผชิญหน้าของแผ่นขีดจํากัดและโปรโตคอลการจัดการห้องสะอาดในทั้งสองกรณี การทําความสะอาดและตรวจสอบเป็นประจําเป็นสิ่งจําเป็นในการรักษาผลงาน
โรงงานที่มีความก้าวหน้ามักนํามาใช้ขั้นตอนการประเมินคุณสมบัติในการจัดการอุปกรณ์ รวมถึงการทดสอบการปล่อยอนุภาคและการประเมินความเข้ากันได้ทางเคมีมาตรการเหล่านี้จะทําให้ระบบการจัดการแผ่นไม กลายเป็นแหล่งที่ซ่อนอยู่ของการสูญเสียผลผลิต.
ความเครียดทางกลและความสมบูรณ์แบบของแผ่น
ความเครียดทางกลที่นํามาในระหว่างการรับมือสามารถนําไปสู่การบุกกระดาษ, การแตกเล็กน้อย, หรือความเสียหายของขอบ.ความบกพร่องเหล่านี้อาจไม่เห็นได้ทันที แต่สามารถแพร่กระจายในช่วงขั้นตอนการแปรรูปทางอุณหภูมิหรือกลไก.
ทั้ง FOUPs และตัวบรรทุกแผ่นกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษการปรับตรงที่เหมาะสมระหว่างการบรรทุกและการปล่อยของจําเป็นเพื่อป้องกันการสัมผัสกับผนังพกพาหรือแผ่นเยือน.
การบูรณาการกับระบบอัตโนมัติและระบบมือ
FOUPs ถูกปรับปรุงให้เข้ากับระบบการผลิตที่อัตโนมัติเต็มที่ รวมถึงการทํางานของหุ่นยนต์และการขนส่งอากาศอินเตอร์เฟซที่มาตรฐานของพวกเขาทําให้สามารถเชื่อมโยงได้อย่างน่าเชื่อถือกับเครื่องมือกระบวนการและลดการแทรกแซงของผู้ประกอบการ.
หน่วยบรรจุแผ่นสับปะทะ ในทางตรงกันข้าม มีความยืดหยุ่นมากขึ้นสําหรับสภาพแวดล้อมมือและครึ่งอัตโนมัติและการผลิตพิเศษที่มีการเปลี่ยนแปลงกระบวนการบ่อย ๆ.
แนวโน้มที่กําลังเกิดขึ้นในการจัดการและการเก็บกระปุก
ในขณะที่การผลิตครึ่งประสาทมีการพัฒนาต่อไป ระบบการจัดการกับแผ่นขั้วก็พัฒนาอยู่ด้วยแนวโน้มรวมถึงการพัฒนา FOUPs ที่ฉลาดที่มีเซ็นเซอร์ที่ติดตามสภาพแวดล้อม, วัสดุที่ปรับปรุงขึ้นสําหรับการออกแก๊สที่ต่ํามาก และพนักงานที่กําหนดเองสําหรับการบรรจุที่ทันสมัยและการบูรณาการแบบไม่เหมือนกัน
การนํามาใช้วัสดุที่มีความกว้างขวางอย่างเช่นซิลิคอนคาร์ไบด์และกัลลিয়ামไนทรีดเพิ่มมากขึ้น กําลังผลักดันความต้องการสําหรับการจัดการเฉพาะเจาะจงที่สามารถรองรับคุณสมบัติวัสดุที่เป็นเอกลักษณ์
สรุป
การจัดการและการเก็บของวอฟเฟอร์เป็นองค์ประกอบพื้นฐานของการผลิตครึ่งนําที่ส่งผลกระทบตรงต่อผลผลิต ความน่าเชื่อถือและความมั่นคงของกระบวนการFOUPs และตัวบรรจุแผ่นวอล์ฟมีหน้าที่แตกต่างกัน แต่เป็นการเติมเต็ม, แต่ละตัวตอบสนองความต้องการเฉพาะเจาะจงที่เกี่ยวข้องกับอัตโนมัติ ความสะอาดและความเข้ากันของวัสดุ
เมื่อความซับซ้อนของอุปกรณ์เพิ่มขึ้นและความอนุญาตที่เข้มข้น ความสําคัญของระบบการจัดการแผ่นแผ่นที่มีการออกแบบอย่างดีจะยังคงเพิ่มขึ้นการลงทุนใน FOUP ที่เหมาะสมและการแก้ไขการขนของโวฟเฟอร์ ไม่ใช่แค่เรื่องของโลจิสติกส์แต่เป็นการตัดสินใจทางกลยุทธ์ ที่สนับสนุนผลงานการผลิตและความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีในระยะยาว
