SiC เซรามิค เทรย์ พลาต ผงถือสําหรับกระบวนการถัก ICP ในการประมวลผลการเติบโต epitaxial

ตู้/แผ่น/ตัวถือแผ่นเซรามิก SiC สําหรับกระบวนการถัก ICP ที่ใช้ในการประมวลผลการเติบโตทางกระดูก

สรุปของ SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) กระจกเซรามิก

ตะเบียนเซรามิกจากซิลิคคาร์ไบด์ (SiC) เป็นวัสดุที่มีประสิทธิภาพสูงที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมที่ต้องการความทนทาน, ความมั่นคงในอุณหภูมิสูง, และความสามารถในการนําความร้อนที่ดีเยี่ยมมีชื่อเสียงในเรื่องความแข็งแรงสูงกว่า, ความทนทานต่อการสวมใส่, ความอ่อนแอทางเคมี, และความทนทานต่อการกระแทกทางความร้อน, ทําให้มันเหมาะสมสําหรับการใช้งานที่ต้องการ เช่น การผลิตครึ่งตัวนํา, การจัดการวัสดุ, และกระบวนการอุณหภูมิสูง.ธารก้อนเหล่านี้เหมาะสําหรับการใช้ในกระบวนการผลิตครึ่งตัวนํา เช่น ICP (Inductively Coupled Plasma) etching และการเติบโตของ epitaxialเมื่อการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยําและความสมบูรณ์แบบของวัสดุมีความสําคัญ.

คุณสมบัติของถังเซรามิก SiC

ตะเบียนเซรามิก SiC ได้ถูกออกแบบมาเพื่อตอบสนองมาตรฐานสูงที่ต้องการในอุตสาหกรรม เช่น การผลิตครึ่งประสาทและการจัดการวัสดุ ด้านล่างนี้คือคุณสมบัติหลักของตะเบียนเซรามิก SiC:

1.ความสามารถในการนําความร้อนสูง

SiC มีความสามารถในการนําความร้อนที่สูงที่สุดในหมู่เซรามิก ซึ่งทําให้เทรย์เซรามิก SiC สามารถระบายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างกระบวนการอุณหภูมิสูงในอุตสาหกรรม เช่น การถักครึ่งประสาทและการเติบโตของเอปิตาซิอัลในกรณีที่การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยําเป็นสิ่งสําคัญ ความสามารถในการนําอุณหภูมิของ SiC 確保ว่าวัสดุสามารถทนและทํางานได้ในอุณหภูมิที่สูงขึ้นโดยไม่ต้องทําลาย

2. ความทนทานต่อการสกัด

ความแข็งแรงของ SiC ทําให้มันมีความทนทานต่อการสวมและการบดเช่นในการจัดการกับวอล์ฟ, การขนส่ง, หรือการแปรรูปสับสราท ทะเบียน SiC ทนทานและยาวนาน, ทําให้พวกเขาเป็นทางเลือกที่น่าเชื่อถือสําหรับการใช้งานซ้ําในอุตสาหกรรม

3ความทนทานต่อการกัดกร่อนและสารเคมี

SiC มีความทนทานต่อการกัดกรองและการโจมตีทางเคมีสูง ทําให้มันเหมาะสําหรับการใช้ในสภาพแวดล้อมที่วัสดุอื่น ๆ อาจทําลายและสารสกัดอื่น ๆ ที่พบทั่วไปในกระบวนการถักครึ่งประสาทหรือการแปรรูปทางเคมี.

4ความมั่นคงในอุณหภูมิสูง

SiC รักษาความสมบูรณ์แบบของโครงสร้างของมัน แม้กระทั่งในอุณหภูมิที่สูงมากตะเบียนเซรามิก SiC สามารถทนความร้อนสูงที่พบในกระบวนการเช่น ICP (Plasma ที่เชื่อมต่อด้วยการผลักดัน) และการเติบโตของ epitaxial, ที่มักทํางานในอุณหภูมิสูงกว่า 1,000 °C. ความอดทนอุณหภูมิสูงนี้ทําให้ตู้ SiC ไม่บิดหรือบิดภายใต้สภาพที่รุนแรง

5. การกันไฟฟ้า

ซีซีเซรามิกมีประกันไฟฟ้า ทําให้มันเหมาะสมสําหรับการใช้ในสภาพแวดล้อมการประมวลผลครึ่งประสาทเช่น การจัดการกับโวฟเฟอร์ ระหว่างการฝากหรือถัก, คุณสมบัติการกันไฟฟ้าของ SiC สามารถช่วยป้องกันการแทรกแซงไฟฟ้าที่ไม่ต้องการ

การใช้งานของถังเซรามิก SiC

ทะเบียนเซรามิก SiC ถูกใช้ในอุตสาหกรรมหลากหลาย โดยเฉพาะอย่างยิ่งที่ต้องการความมั่นคงในอุณหภูมิสูง ความทนทานต่อการสวม และความทนทานต่อสารเคมี:

1อุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา

ในอุตสาหกรรมครึ่งตัวนํา SiC กล่องเซรามิกถูกใช้อย่างแพร่หลายสําหรับการจัดการกับแผ่น, โดยเฉพาะอย่างยิ่งในกระบวนการ etching และการเติบโต epitaxial.เทคนิคที่ใช้กันทั่วไปสําหรับการสร้างรูปแบบของฟิล์มบางผง SiC เหมาะสําหรับกระบวนการนี้ เนื่องจากมันให้บริการการจัดการความร้อนที่ดีที่สุด, ลดความเสียหายที่เกี่ยวข้องกับความร้อนให้ขั้นต่ํา

ตะกร้า SiC ยังมีความจําเป็นใน กระบวนการการเติบโต Epitaxial โดยที่ชั้นบางของวัสดุถูกฝากลงบนพื้นฐาน ความสามารถในการนําความร้อนสูงของ SiC ช่วยรักษาการกระจายอุณหภูมิที่เรียบร้อยซึ่งมีความสําคัญในการบรรลุการเติบโตแบบเรียบร้อยและชั้นที่มีคุณภาพสูงบนซิลิคคาร์ไบด์หรือซิลิคคาร์ไบด์.

2. การจัดการวัสดุ

ตะเบียนเซรามิก SiC ใช้ในการจัดการและขนส่งวัสดุในสภาพอากาศที่มีอุณหภูมิสูง เช่น ใช้ในการผลิตเซรามิกที่มีประสิทธิภาพสูงและผสมผสาน, ที่วัสดุอื่น ๆ อาจล้มเหลวเนื่องจากการขยายความร้อนหรือปฏิสัมพันธ์ทางเคมี. ถัง SiC ให้คําตอบที่แข็งแรงสําหรับการเคลื่อนย้ายวัสดุในเตาอบ, เตาอบ, และสภาพแวดล้อมที่รุนแรงอื่น ๆ.

3. การผลิตไฟฟ้า LED และเซลล์แสงอาทิตย์

คุณสมบัติของ SiC ใช้อํานาจที่สําคัญในการผลิต LED และเซลล์แสงอาทิตย์ทําให้ถังเซรามิก SiC เป็นวัสดุที่เหมาะสมสําหรับการจัดการและรองรับพื้นฐานในช่วงช่วงการผลิตต่างๆเช่นเดียวกับในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ ตู้ SiC ใช้ในการจัดการกับโวฟเฟอร์ระหว่างกระบวนการ เช่น การด๊อปปิ้งและการถัก

4สายการบินและอุตสาหกรรมรถยนต์

ธารกะเบียนเซรามิก SiC ยังถูกใช้ในอุปกรณ์อากาศและอุปกรณ์รถยนต์ที่การทํางานในอุณหภูมิสูงเป็นสิ่งสําคัญองค์ประกอบที่ต้องทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรง เช่น ที่พบในอุปกรณ์เรือน, เครื่องยนต์ร็อกเก็ต และระบบเบรคที่มีประสิทธิภาพสูงตู้เหล่านี้สนับสนุนการจัดการและการแปรรูปวัสดุที่จําเป็นต้องเก็บไว้ในอุณหภูมิและสภาพแวดล้อมเฉพาะเจาะจงระหว่างการผลิตหรือการทดสอบ.

ข้อดีของถังเซรามิก SiC

1การเพิ่มประสิทธิภาพ

ความสามารถในการนําความร้อนสูงของ SiC ทําให้ความร้อนระบายได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันความเสียหายทางความร้อนต่อองค์ประกอบที่มีความรู้สึกในระหว่างกระบวนการเช่นการกวาดและการเติบโตซึ่งนําไปสู่ผลลัพธ์ที่แม่นยําและสม่ําเสมอมากขึ้น, เพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมของสายการผลิต

2. ประหยัด

แม้ SiC จะเป็นวัสดุระดับพรีเมี่ยม แต่ความทนทานและอายุการใช้งานที่ยาวนานของมันจะลดความจําเป็นในการเปลี่ยนบ่อยเนื่องจากความยาวนานและการทํางานของพวกเขาช่วยลดเวลาหยุดทํางานและค่ารักษา.

3การควบคุมกระบวนการที่เสริม

การใช้เทรย์ SiC ในอุปกรณ์อุณหภูมิสูงและการแปรรูปครึ่งประสาท ทําให้สามารถควบคุมสิ่งแวดล้อมได้ดีขึ้นการให้ความมั่นใจว่าแผ่นหรือสับสราตถูกนําไปใช้ในสภาพที่ดีที่สุดส่งผลให้มีผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพดีขึ้น ซึ่งเป็นสิ่งที่สําคัญมากในอุตสาหกรรม เช่น การผลิตครึ่งประสาท ที่มีความละเอียดและคุณภาพเป็นสิ่งสําคัญ

4ความต้านทานต่อสิ่งแวดล้อม

ความทนทานของ SiC ต่อการกัดกร่อน, การออกซิเดน,และความเสียหายทางเคมี ทําให้ตู้เซรามิก SiC สามารถทนต่อสภาพที่ยากลําบากที่มักพบในการผลิตครึ่งตัวนําและอุตสาหกรรมเทคโนโลยีสูงอื่น ๆความแข็งแกร่งต่อสิ่งแวดล้อมนี้ สนับสนุนการใช้งานยาวนานและความน่าเชื่อถือของแทรกในการใช้งานที่ต้องการ

สรุป

ตะเบียนเซรามิก SiC เป็นองค์ประกอบที่สําคัญในอุตสาหกรรมที่ต้องการวัสดุที่มีประสิทธิภาพสูง สามารถทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงความมั่นคงทางเคมี, และความอดทนต่ออุณหภูมิสูง ทําให้มันจําเป็นในการผลิตครึ่งตัวนํา, การจัดการวัสดุ, และการใช้งานอื่น ๆ อีกมากมายและความแม่นยําธ านีเซรามิก SiC ให้ผู้ผลิตด้วยวิธีการที่น่าเชื่อถือและยาวนานที่ช่วยในการปรับปรุงการควบคุมกระบวนการและคุณภาพสินค้าในขณะที่อุตสาหกรรมยังคงต้องการผลงานที่สูงขึ้นและวัสดุที่ทนทานมากขึ้น, การใช้เทรย์เซรามิก SiC จะเพิ่มขึ้นในความสําคัญในสาขาต่างๆ

Q & A

Q:ถังเซรามิก SiC สามารถปรับแต่งได้หรือไม่

A: ใช่, เซรามิก SiC ทะเบียนสามารถปรับแต่งเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะเจาะจง, รวมถึงขนาด, รูปทรง, และการเสร็จสิ้นพื้นผิว. การปรับแต่งสามารถให้ผลงานที่ดีที่สุดในกระบวนการเฉพาะเจาะจง,เช่น การจัดการกับวอลเฟอร์, การขนส่งสับสราท, หรือสภาพการกะทะและการเติบโตเฉพาะเจาะจง

#ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) #เทรย์เซรามิก #วัสดุอุณหภูมิสูง #การผลิตครึ่งประสาท #การกวาด ICP #การเติบโตแบบเอปิตาซิยาล

#ความทนทานต่อการสวมใส่ #ความสามารถในการนําความร้อน #ความทนทานต่อสารเคมี #การจัดการด้วยวัสดุ