ชื่อแบรนด์: | ZMSH |
การนําเสนอสินค้า
เครื่องบดกระเบื้องกระเบื้องทํางานโดยการติดตั้งกระเบื้องกระเบื้องและติดต่อมันด้วยล้อบดหมุนเร็วสูงเครื่องบดแผ่นนี้มีระบบควบคุมที่พัฒนา เพื่อตรวจสอบความดันบดและความหนาในเวลาจริงการลดความหนาวและการทําความสะอาดที่บูรณาการ
ปริมาตร | รายละเอียด | ความเห็น |
ขนาดของวอเฟอร์ | Ø2" ถึง Ø12" (ไม่จํากัด: Ø8" ขึ้นไป) | รองรับสูงสุด 300 มิลลิเมตร |
ระยะการลดน้ําหนัก | 50μm - 800μm | ความหนาต่ําสุดที่เป็นไปได้: 20μm (ขึ้นอยู่กับวัสดุ) |
ความแม่นยําของความหนา | ± 1μm | เครื่องประกอบการประกอบการ |
ความหยาบคายของพื้นผิว | < 5nm Ra (หลังการบดละเอียด) | ขึ้นอยู่กับวัสดุและชนิดของล้อ |
ประเภทล้อบด | วงล้อถ้วยเพชร | สามารถเปลี่ยนได้ |
ความเร็วของสปินด์ | 500 - 6000 รอบ / นาที | ระบบควบคุมความเร็วแบบไม่มีขั้นตอน |
ชัคดูดฝุ่น | การสนับสนุน | หมากระจกกระจกกระจกกระจกกระจก |
ระบบเย็น | น้ํา + อากาศเย็น | ป้องกันความเสียหายจากความร้อน |
รูปแบบการทํางาน | หน้าจอสัมผัสที่มีการควบคุม PLC | ปริมาตรปรับและโปรแกรม |
ลักษณะที่ไม่ต้องการ | อัตโนมัติการบรรทุก / ถอน, ติดตามความหนา, การจัดตั้ง CCD | สามารถปรับแต่งได้ |
พลังงาน | AC 380V ± 10%, 50/60Hz, 3 ขั้นตอน | ตัวเลือกความแรงดันที่กําหนดเอง |
ขนาดของเครื่อง | ประมาณ 1800mm × 1500mm × 1800mm | อาจแตกต่างกันเล็กน้อยตามรุ่น |
น้ําหนัก | ประมาณ 1500 กิโลกรัม | ไม่มีระบบการจัดการอัตโนมัติ |
เครื่องกระจายแผ่นวอล์ฟถูกใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตครึ่งประสาทที่ต้องการแผ่นวอล์ฟบางมาก เช่น การบรรจุ IC 3 มิติ การผลิตอุปกรณ์พลังงานและชิป RFเครื่องบดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีดขีด
นอกจากนี้ เครื่องกระจายแผ่นขีดเหล็กสามารถใช้ได้ในกรณีดังต่อไปนี้:
กล่องระดับสูง:รวมถึงการบรรจุ FO-WLP, 2.5D และ 3D ซึ่งมีแผ่นแผ่นบางกว่าที่จะทําให้การบูรณาการสูงขึ้นและการเชื่อมต่อระหว่างกันที่สั้นกว่า
การผลิตอุปกรณ์ MEMSการลดความละเอียดของแผ่นขีดขวางช่วยเพิ่มความรู้สึกของเซ็นเซอร์ โดยปล่อยชั้นโครงสร้าง
อุปกรณ์ครึ่งนําพลังงาน:วัสดุอย่าง SiC และ GaN ต้องการการลดความอ่อนของแผ่นเพื่อลดการสูญเสียการนําและปรับปรุงการระบายความร้อน
ชิป LiDAR:การลดความอ่อนของแผ่นขัดสนสนับสนุนการปรับสภาพทางแสงที่ดีขึ้นและผลงานทางไฟฟ้า
R & D และวิชาการ:มหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัยใช้เครื่องบดแผ่นเพื่อสํารวจโครงสร้างครึ่งประสาทและตรวจสอบวัสดุใหม่
Q1: วัสดุอะไรที่สามารถแปรรูปโดยเครื่องกระจายกระจกนี้?
A1: เครื่องบดแผ่นเม็ดของเราเข้ากันได้กับวัสดุหลายชนิด เช่น ซิลิคอน (Si), ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC), แกลเลียมไนไตรได (GaN), ซาฟฟายร์, แกลเลียมอาร์เซนได (GaAs) และอื่นๆ
คําถามที่ 2: เครื่องบดขีดขนาบนี้จะทําให้หนาเท่ากันได้อย่างไร?
A2: มันใช้หัวบดแม่นยําที่มีการติดตามความหนาในเวลาจริงและระบบควบคุมที่ปรับตัวเพื่อรักษาผลการบดที่ตรงกัน
Q3: ช่วงความหนาของเครื่องบดแผ่นนี้คืออะไร?
A3: วาฟเฟอร์สามารถลดความละเอียดเป็น 50μm หรือบางขึ้นขึ้นขึ้นอยู่กับวัสดุและความต้องการการใช้งาน
สินค้าที่เกี่ยวข้อง