กล่องควอตซ์ วอฟเฟอร์ ความบริสุทธิ์สูง และทนต่ออุณหภูมิสูง สามารถปรับแต่งได้

การนําเสนอสินค้า

เรือวอฟเฟอร์ (Wafer boat) หรือ เรือขนของ เป็นเครื่องมือที่สําคัญในการผลิตครึ่งประสาทสําหรับการถือ, โอนและวางตําแหน่งวอฟเฟอร์การออกแบบของมันต้องทนต่อสภาพที่รุนแรง เช่น อุณหภูมิสูง (> 1000 °C), การกัดกรองทางเคมี และการปล่อยไฟฟ้าสแตตติก (ESD) เพื่อรับรองความปลอดภัยของแผ่นในระหว่างกระบวนการต่าง ๆ

หลักการ

ครับการสอดคล้องและการติดตั้ง:
ช่องวางตําแหน่งบนเรือสอดคล้องกับปินในเคสเก็ตวอฟเฟอร์ ทําให้การโอนชุดสามารถใช้ได้โดยไม่ต้องใช้มือ
สล็อตสองชั้น (ชั้นบนและชั้นล่าง) ปลอดภัยของแผ่นขีดในระหว่างการหมุนเวียนทางความร้อน (ตัวอย่างเช่น การเผาไหม้)

ครับการจัดการความเครียดทางความร้อน:
วัสดุที่มีความขยายความร้อนต่ํา (0.5×10−6/°C) ลดการบิดเบือนให้น้อยที่สุด ภายใต้อัตราการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ
โครงสร้างหญ้าผึ้ง แบ่งกระแสความเครียดทางความร้อนอย่างเท่าเทียมกัน

ความเหมาะสมของกระบวนการ:
กณิตศาสตร์สล็อต (ตัวอย่างเช่น I-type, V-type) สามารถรองรับความหนาของแผ่นวอล์ฟที่แตกต่างกันได้ (300 ∼ 800 μm) โดยการรับประกันการไหลของสารปฏิกิริยาในระยะแก๊ส
ผ่าตัดทรงเพชร ทําให้สามารถบรรทุกหุ่นยนต์ได้สองทิศทาง

ความปลอดภัยและการป้องกัน:
องค์ประกอบพัฟเฟอร์ (สปริง, แพดยาง) หนับแรงกระแทกทางกลระหว่างการวางวอเฟอร์
การ ล้าง ไนโตรเจน ทํา ให้ เหลือ ถอย ออก และ ป้องกัน การ สกปรก

ลักษณะ

กระจกซิลิก้าหลอมเป็นกระจกอุตสาหกรรมพิเศษที่ทําจากซิลิคอนไดออกไซด์ (SiO2) เป็นวัสดุพื้นฐานพิเศษที่มีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่โดดเด่น

• ครับทนต่ออุณหภูมิสูง:

จุดอ่อน: ~ 1730 °C
ใช้งานต่อเนื่องที่ 1100~1250 ° C และทนต่อการเผชิญหน้าระยะสั้นถึง 1450 ° C

• ครับความอ่อนแอทางเคมี:

ทนทานกับกรดส่วนใหญ่ (ยกเว้นกรดไฮโดรฟลูอริก)
ความต้านทานต่อการกัดกรองสูงกว่าเซรามิคถึง 30 เท่า และสูงกว่าสแตนเลสถึง 150 เท่า
รักษาความมั่นคงภายใต้สภาพความร้อนอย่างรุนแรง ทําให้ผลงานได้ดีกว่าวัสดุอื่นๆ

• ความมั่นคงทางความร้อน:

คออฟเซนต์การขยายความร้อนที่ต่ํามาก (~ 5.5 × 10−7 °C)
ทนต่อการกระแทกทางความร้อน (ตัวอย่างเช่น การทําความร้อนถึง 1100 °C และการดับในน้ํา)

• ครับความโปร่งใสทางแสง:

การถ่ายทอดสายสีที่กว้างจากอัลตราไวโอเล็ต (UV) ไปยังอินฟราเรด (IR)
ความผ่านแสงที่เห็นได้: > 95%
ความสามารถในการกระจายแสง UV สูงสุด > 85% ในช่วง 185 ~ 250 nm

• ครับการกันไฟฟ้า:

ความต้านทานสูงกว่ากระจกทั่วไป 10,000 เท่า
คุณสมบัติดีเอเล็คทริกที่เยี่ยมมาก แม้ในอุณหภูมิสูง

การใช้งาน