เครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน
ความแม่นยำระดับอะตอม · การประมวลผลแบบไม่สัมผัส · พื้นผิวเรียบพิเศษ

ภาพรวมผลิตภัณฑ์ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน
 

เครื่องขึ้นรูป/ขัดเงาด้วยลำไอออน CNC ทำงานบนหลักการของ การสปัตเตอร์ไอออน. ภายใต้สภาวะสุญญากาศ แหล่งกำเนิดไอออนจะสร้างลำพลาสมา ซึ่งถูกเร่งให้เป็นลำไอออนที่พุ่งชนพื้นผิวชิ้นงานเพื่อกำจัดวัสดุในระดับอะตอม ทำให้สามารถผลิตส่วนประกอบทางแสงได้อย่างแม่นยำสูง

เทคโนโลยีนี้มี การประมวลผลแบบไม่สัมผัส ปราศจากความเครียดทางกลหรือความเสียหายใต้พื้นผิว และเหมาะสำหรับเลนส์ที่มีความแม่นยำสูงในด้านดาราศาสตร์ การบินและอวกาศ สารกึ่งตัวนำ และการวิจัยทางวิทยาศาสตร์

หลักการทำงาน ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน

• การสร้างไอออน – ก๊าซเฉื่อย (เช่น อาร์กอน) ถูกนำเข้าสู่ห้องสุญญากาศและถูกไอออไนซ์โดยสนามปล่อยประจุไฟฟ้า

• การเร่งไอออนและการก่อตัวของลำ – ไอออนถูกเร่งให้มีความเร็วหลายร้อยหรือหลายพันอิเล็กตรอนโวลต์ (eV) และถูกจัดรูปร่างให้เป็นจุดลำที่เสถียรโดยใช้เลนส์โฟกัส

• การกำจัดวัสดุ – ลำไอออนจะสปัตเตอร์อะตอมบนพื้นผิวทางกายภาพโดยไม่มีปฏิกิริยาเคมี

• การวัดข้อผิดพลาดและการวางแผนเส้นทาง – ข้อผิดพลาดของรูปทรงพื้นผิวจะถูกวัดผ่านการแทรกสอด จากนั้นฟังก์ชันการกำจัดจะถูกใช้เพื่อคำนวณเวลาพักของลำและสร้างเส้นทางการประมวลผล

• การแก้ไขแบบวงปิด – รอบการประมวลผลและการวัดจะถูกทำซ้ำจนกว่าจะบรรลุเป้าหมาย RMS/PV

คุณสมบัติของอุปกรณ์ ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน

• การประมวลผลแบบไม่สัมผัส – สามารถจัดการกับรูปทรงพื้นผิวได้ทั้งหมด

• อัตราการกำจัดที่เสถียร – ความแม่นยำในการแก้ไขรูปทรงต่ำกว่านาโนเมตร

• ไม่มีความเสียหายใต้พื้นผิว – รักษาความสมบูรณ์ของแสง

• ความสม่ำเสมอสูง – ความผันผวนน้อยที่สุดในวัสดุที่มีความแข็งต่างกัน

• การแก้ไขความถี่ต่ำ/ปานกลาง – ไม่มีการสร้างข้อผิดพลาดความถี่สูง-กลาง

• ค่าบำรุงรักษาต่ำ – การทำงานต่อเนื่องในระยะยาวโดยมีการหยุดทำงานน้อยที่สุด

ความสามารถในการประมวลผลอุปกรณ์ ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน

พื้นผิวที่มีจำหน่าย:

• ส่วนประกอบทางแสงอย่างง่าย: ระนาบ ทรงกลม ปริซึม

• ส่วนประกอบทางแสงที่ซับซ้อน: แอสเฟียร์แบบสมมาตร/อสมมาตร พื้นผิวทรงกระบอก

• ส่วนประกอบทางแสงพิเศษ: เลนส์บางพิเศษ เลนส์ซี่ เลนส์ทรงกลม เลนส์คอนฟอร์มัล แผ่นเฟส พื้นผิวฟรีฟอร์ม รูปทรงอื่นๆ ที่กำหนดเอง

วัสดุที่มีจำหน่าย:

• แก้วแสงทั่วไป: ควอตซ์, ไมโครคริสตัลไลน์, K9, ฯลฯ

• เลนส์อินฟราเรด: ซิลิคอน, เจอร์เมเนียม, ฯลฯ

• โลหะ: อะลูมิเนียม, สแตนเลสสตีล, โลหะผสมไทเทเนียม, ฯลฯ

• วัสดุคริสตัล: YAG, ซิลิคอนคาร์ไบด์ชนิดผลึกเดี่ยว, ฯลฯ

• วัสดุแข็ง/เปราะอื่นๆ: ซิลิคอนคาร์ไบด์, ฯลฯ

คุณภาพ/ความแม่นยำของพื้นผิว:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0.5 nm

ข้อดีของผลิตภัณฑ์ ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน

• ความแม่นยำในการกำจัดระดับอะตอม – ช่วยให้พื้นผิวเรียบพิเศษสำหรับระบบออปติคัลที่ต้องการ

• ความเข้ากันได้ของรูปทรงที่หลากหลาย – ตั้งแต่เลนส์แบนไปจนถึงฟรีฟอร์มที่ซับซ้อน

• การปรับตัวของวัสดุที่หลากหลาย – ตั้งแต่คริสตัลที่มีความแม่นยำไปจนถึงเซรามิกแข็งและโลหะ

• ความสามารถในการเปิดรับแสงขนาดใหญ่ – ประมวลผลเลนส์ได้ถึง Φ4000 มม.

• การทำงานที่เสถียรเป็นเวลานาน – ทำงาน 3–5 สัปดาห์โดยไม่ต้องบำรุงรักษาห้องสุญญากาศ

รุ่นทั่วไป ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• แกนการเคลื่อนที่: 3 แกน / 5 แกน

• ขนาดชิ้นงานสูงสุด: สูงสุดถึง Φ4000 มม.

กรณีที่ 1 – กระจกแบนมาตรฐาน

• ชิ้นงาน: ควอตซ์แบน D630 มม.

• ผลลัพธ์: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

​​

กรณีที่ 2 – กระจกสะท้อนรังสีเอกซ์

• ชิ้นงาน: แบนซิลิคอน 150 × 30 มม.

• ผลลัพธ์: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ความลาดชัน 0.13 µrad

​

กรณีที่ 3 – กระจกนอกแกน

• ชิ้นงาน: กระจกบดนอกแกน D326 มม.

• ผลลัพธ์: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

สาขาการใช้งาน ของเครื่องขัดเงาด้วยลำไอออน

• เลนส์ดาราศาสตร์ – กระจกหลัก/รองของกล้องโทรทรรศน์ขนาดใหญ่

• เลนส์อวกาศ – การสำรวจระยะไกลผ่านดาวเทียม การถ่ายภาพในอวกาศลึก

• ระบบเลเซอร์กำลังสูง – เลนส์ ICF การสร้างลำแสง

• เลนส์สารกึ่งตัวนำ – เลนส์และกระจกสำหรับการพิมพ์หิน

• เครื่องมือทางวิทยาศาสตร์ – กระจกรังสีเอกซ์/นิวตรอน ส่วนประกอบมาตรฐานการวัด

ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง

เครื่องแกะสลักด้วยเลเซอร์ไฟเบอร์ขนาดกะทัดรัด การทำเครื่องหมายที่ไม่ต้องบำรุงรักษาแบบสะอาดสำหรับเวิร์กช็อป ธุรกิจขนาดเล็ก

เครื่องตัดด้วยลวดเพชร

เกี่ยวกับเรา

ZMSH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา ผลิต และจำหน่ายแก้วแสงพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านอิเล็กทรอนิกส์ออปติคัล อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และการทหาร เรานำเสนอส่วนประกอบออปติคัลแซฟไฟร์ ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ เซรามิก LT ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC ควอตซ์ และเวเฟอร์คริสตัลสารกึ่งตัวนำ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเป็นเลิศในการประมวลผลผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมีเป้าหมายที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีชั้นสูงด้านวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์ชั้นนำ