เครื่องเคลือบขั้วไอออน
ความแม่นยําระดับอะตอม · การประมวลผลโดยไม่ติดต่อ · พื้นผิวเรียบมาก

ภาพรวมผลิตภัณฑ์ของ เครื่องเคลือบขั้วไอออน
 

เครื่อง CNC Ion Beam Figuring/Polishing Machine ทํางานตามหลักการของการกระจายไอออนภายใต้สภาพว่าง แหล่งไอออนสร้างรังสีพลาสมา ซึ่งเร่งเป็นรังสีไอออนที่ระเบิดพื้นผิวของชิ้นงานเพื่อการกําจัดวัสดุในระดับอะตอมสามารถผลิตองค์ประกอบทางออนไลน์ได้อย่างแม่นยํามาก.

เทคโนโลยีนี้การประมวลผลโดยไม่ติดต่อ, ปราศจากความเครียดทางกลหรือความเสียหายภายใต้พื้นผิว และเหมาะสมสําหรับแสงสว่างความละเอียดสูงในภูมิศาสตร์, ท้องอากาศ, หินครึ่งประสาท และการวิจัยทางวิทยาศาสตร์

หลักการทํางานของเครื่องเลืองแกะไอออน

• การผลิตไอออนก๊าซอ่อน (ตัวอย่างเช่น อาร์กอน) นําเข้าในห้องว่างและประกอบด้วยสนามการชาร์จไฟฟ้า

• การเร่งไอออนและการสร้างรังสีอิโอนถูกเร่งเป็นร้อยๆ หรือพันๆ อิเล็กตรอนโวลท์ (eV) และถูกทําให้เป็นจุดกระบอกที่มั่นคง โดยการโฟกัสแสง

• การกําจัดวัสดุราศีไอออนจะกระจายอะตอมบนพื้นผิวโดยไม่มีปฏิกิริยาทางเคมี

• การวัดความผิดพลาดและการวางแผนเส้นทางการวัดความผิดพลาดของรูปพื้นผิวโดยใช้ Interferometry จากนั้นใช้ฟังก์ชันการกําจัด เพื่อคํานวณเวลาการอยู่ของรังสีและผลิตเส้นทางการประมวลผล

• การแก้ไขแบบปิดวงจร✓ วงจรการประมวลผลและการวัดซ้ํา จนกว่าจะบรรลุเป้าหมาย RMS/PV

ลักษณะของอุปกรณ์ของเครื่องเลืองแกะไอออน

• การประมวลผลโดยไม่ติดต่อ✅ สามารถใช้งานทุกรูปแบบของพื้นผิว

• อัตราการกําจัดที่มั่นคงความแม่นยําของการแก้ไขตัวเลขที่ต่ํากว่านาโนเมตร

• ไม่มีความเสียหายใต้พื้นผิวปกป้องความสมบูรณ์แบบทางสายตา

• ความคงที่สูง✅ ความสั่นสะเทือนอย่างน้อย ระหว่างวัสดุที่มีความแข็งแตกต่างกัน

• การแก้ไขความถี่ต่ํา/ปานกลาง✓ ไม่มีการสร้างความผิดพลาดความถี่สูงกลาง

• ค่ารักษาที่ต่ําการทํางานต่อเนื่องระยะยาว ด้วยเวลาหยุดทํางานอย่างน้อย

ความสามารถในการประมวลผลของอุปกรณ์ของเครื่องเลืองแกะไอออน

พื้นที่ใช้ได้:

• องค์ประกอบทางออปติกง่ายๆ: ระเบียง, ลูกกลม, พริสม

• องค์ประกอบทางออนไลน์ที่ซับซ้อน: asphere symmetric/asymmetric, off-axis asphere, surface cylindrical

• องค์ประกอบออปติกพิเศษ: ออตติก ultra-thin, ออตติก slat, ออตติก hemispherical, ออตติก conformal, แผ่นเฟส, พื้นฟูฟรีฟอร์ม, รูปทรงตามสั่งอื่น ๆ

วัสดุ ที่ มี:

• กระจกแสงทั่วไป: ควาร์ตซ์, ไมโครคริสตัล, K9, ฯลฯ

• อินฟราเรดออปติกส์: ซิลิคอน, เจอร์มาเนียม เป็นต้น

• โลหะ: อลูมิเนียม สแตนเลส สแตนเลส ทิตาเนียม

• วัสดุคริสตัล: YAG, ซิลิคอนคาร์ไบด์สัญจรเดียว เป็นต้น

• วัสดุที่แข็ง/เปราะบางอื่นๆ: ซิลิคอนคาร์บิด เป็นต้น

คุณภาพพื้นผิว / ความแม่นยํา:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0.5 nm

ข้อดีของสินค้าของเครื่องเลืองแกะไอออน

• ความแม่นยําในการกําจัดระดับอะตอม✓ ทําให้พื้นผิวเรียบเรียบสําหรับระบบออปติกที่ต้องการ

• ความเหมาะสมของรูปร่างที่หลากหลายจากออตติกที่ราบไปยังรูปแบบอิสระที่ซับซ้อน

• ความสามารถในการปรับปรุงวัสดุที่กว้างจากคริสตัลความแม่นยํา ไปยังเซรามิคและโลหะแข็ง

• ความสามารถในการเปิดขนาดใหญ่∆ ออฟติกส์กระบวนการสูงถึง Φ4000 มิลลิเมตร

• การดําเนินงานที่มั่นคงต่อระยะยาวใช้งานได้ 3-5 สัปดาห์ โดยไม่ต้องรักษาห้องสูบ

รูปแบบทั่วไปของเครื่องเคลือบแสงยอน

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• แกนการเคลื่อนไหว: 3-แกน / 5-แกน

• ขนาดชิ้นงานสูงสุด: ≤ Φ4000 mm

กรณีที่ 1 ภาพกระจกแบบแบนมาตรฐาน

• ชิ้นงาน: D630 มิลลิเมตร Quartz flat

• ผล: PV 46.4 nm; RMS 4.63 nm

ครับ

กรณีที่ 2 กระจกสะท้อนแสง X

• ชิ้นงาน: 150 × 30 มิลลิเมตร

• ผล: PV 8.3 nm; RMS 0.379 nm; ความชัน 0.13 μrad

ครับ

กรณีที่ 3 ภาพกระจกนอกแกน

• ชิ้นงาน: D326 มิลลิเมตร กระจกพื้นนอกแกน

• ผล: PV 35.9 nm; RMS 3.9 nm

สาขาใช้งานของเครื่องเลืองเส้นอิโอน

• ออตติกส์ทางดวงดาวศาสตร์️กระจกหลัก/รองของโทรทรรศน์ขนาดใหญ่

• อุปกรณ์แสงสว่างอวกาศการตรวจจับทางไกลผ่านดาวเทียม การถ่ายภาพในอวกาศลึก

• ระบบเลเซอร์พลังงานสูงออฟติกส์ ICF การปรับรูปร่างรังสี

• อุปติกเซลมอนด์คอนดักเตอร์✅ เลนส์และกระจกสําหรับการฉลาก

• เครื่องมือวิทยาศาสตร์สาย X / นิวตรอนกระจก, ส่วนประกอบมาตรฐาน