1. ภาพรวม

ตะเบียนขนของกระบวนการที่มีโครงสร้างระยะยาวนี้ เป็นส่วนประกอบอุตสาหกรรมที่มีความทันสมัย ที่ออกแบบมาสําหรับการใช้งานที่ต้องการความแข็งแรงทางกลและความแม่นยําของมิติมีการผสมผสานของสล็อตวงกลมหลายโซนและเครือข่ายที่เสริมสร้างของปีกสนับสนุน radialตะกร้าถูกออกแบบมาเพื่อให้มีผลงานที่ดีกว่าในสภาพแวดล้อมการผลิตที่ซับซ้อนและต้องการอุตสาหกรรม เช่น การผลิตครึ่งประสาท, LED epitaxy, ซินเตอร์เซรามิกที่ก้าวหน้า, และการประมวลผลความร้อนสูงและความสามารถในการทํางานสูง.

กณิตศาสตร์ของตู้ถูกปรับปรุงเพื่อกระจายภาระกลไกได้อย่างเท่าเทียมกัน รักษาความแข็งแรงของโครงสร้างภายใต้ความเครียดสูงและปรับปรุงความเหมือนกันของความร้อนในระหว่างการทํางานที่เกี่ยวข้องกับการทําความร้อนและทําความเย็นอย่างรวดเร็วรวมกับวัสดุเซรามิกหรือโลหะความบริสุทธิ์สูงและกระบวนการแปรรูปที่แข็งแกร่ง สินค้านี้แสดงให้เห็นว่ารุ่นใหม่ของเครื่องติดตั้งอุตสาหกรรมที่ออกแบบเพื่อการผลิตที่ขับเคลื่อนความแม่นยํา

2ลักษณะโครงสร้างและการออกแบบการทํางาน

2.1 กรอบสล็อตวงกลมหลายโซน

ตู้รวมหลายชั้นของสล็อตแบบวงกลมที่กระจายได้ดี ช่องทางที่เหมาะสมนี้มีหลายจุดประสงค์:

• การลดน้ําหนัก:น้ําหนักที่ต่ํากว่าจะลดความอ่อนแอระหว่างการหมุนและปรับปรุงประสิทธิภาพการดําเนินงานโดยรวม

• การปรับปรุงการไหลของความร้อน:สล็อตเพิ่มพื้นที่การระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ ทําให้การกระจายอุณหภูมิ uniform ทั่วพื้นผิว

• การออกแบบลดความเครียด:รูปแบบที่แบ่งแยกกันลดความเครียดทางอุณหภูมิและกลไกให้น้อยที่สุด ลดความเสี่ยงของการแตกหรือบิด

สถาปัตยกรรมหลายโซนนี้มีคุณค่าพิเศษในกระบวนการซินเตอร์อุณหภูมิสูงและกระบวนการครึ่งประสาทที่ต้องควบคุมความละเอียดของความร้อน

2.2 เครือข่ายริมเส้นเรเดียลเสริม

ริบเรียลเป็นกรอบโครงสร้างที่เชื่อมต่อกันซึ่งเพิ่มความแข็งแรงทางเครื่องกลได้อย่างสําคัญ

• ยืนยันภาระหนักโดยไม่ต้องบิด

• ปรับปรุงความมั่นคงในการหมุนเมื่อติดตั้งบน spindles

• ทนต่อการบิดหรือบิดระหว่างวงจรการทําความร้อนและการทําความเย็น

• รักษาความแม่นยําของมิติในระยะยาว

การผสมผสานโครงสร้างวงกลมและวงกลมทําให้เกิดการออกแบบที่สมดุลสูง สามารถรักษาความสมบูรณ์แบบของมันในสภาพแวดล้อมอุตสาหกรรมที่รุนแรง

2.3 พื้นผิวที่แปรรูปด้วยแม่นยําสูง

พื้นผิวของตู้ถูกผลิตโดยใช้วิธีการแปรรูป CNC และกระบวนการปรับปรุงพื้นผิวที่ทันสมัย

• ความเรียบสูง

• ความชดเชยความหนาอย่างละเอียด

• จุดสัมผัสการบรรทุกที่เรียบ

• การลดการขัดแย้งสําหรับพื้นฐานหรือเครื่องติดตั้ง

• ความเหมาะสมอย่างต่อเนื่องกับอุปกรณ์อัตโนมัติ

การแปรรูปแม่นยําดังกล่าวมีความสําคัญสําหรับการใช้งานครึ่งประสาทและออทติกอล ที่แม้แต่ความเบี่ยงเบนเล็ก ๆ น้อย ๆ อาจนําไปสู่ความบกพร่องหรือการสูญเสียผลผลิต

2.4 อินเตอร์เฟซการติดตั้งกลาง

ในแกนของตู้มีอินเตอร์เฟซการติดตั้งที่เชี่ยวชาญประกอบด้วยหลุมเจาะระดับความแม่นยําหลายหลุม

• การติดตั้งที่ปลอดภัยบนหมุนหมุน

• การจัดสรรกับอุปกรณ์ติดตั้งเตาอบหรือห้องว่าง

• การตั้งตําแหน่งที่มั่นคงสําหรับระบบการจัดการอัตโนมัติ

• การบูรณาการกับเครื่องมือวิศวกรรมตามสั่ง

ทําให้กระเป๋าสตางค์เข้ากับกระแสงานอุตสาหกรรมและรูปแบบอุปกรณ์ต่างๆ ได้ง่าย

2.5 การเสริมโครงสร้างที่วงแหวนนอก

แหวนภายนอกประกอบด้วยแผ่นเสริมกระชับส่วนที่กระชับขอบและรักษาความสมดุลในการหมุน

• ความต้านทานการสั่น

• ความมั่นคงของภาระด้านนอก

• ความทนทานภายใต้ผลกระทบทางกลซ้ํา ๆ

ร่วมกับระบบลําไหล่ภายใน แหวนภายนอกสร้างตัวรับที่แข็งแรงและมั่นคง เหมาะสําหรับอายุการใช้งานยาวนาน

3ตัวเลือกวัสดุสําหรับการใช้งานที่แตกต่างกัน

ตู้สามารถผลิตจากวัสดุที่มีประสิทธิภาพสูงหลายอย่าง ขึ้นอยู่กับความต้องการการใช้งาน:

3.1 ซินเตอร์ซิลิคอนคาร์บิด (SSiC)

• ช่องขวางต่ํามาก

• ความสามารถในการนําความร้อนสูง

• ความทนทานต่อการกัดกร่อนที่ดี

• เหมาะสําหรับแวดล้อมครึ่งตัวนําที่สะอาดมากและแวดล้อมว่าง

3.2 คาร์บิดซิลิคอนที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา (RBSiC)

• ความทนทานต่อการกระแทกทางความร้อนที่ดี

• ความแข็งแรงทางกลที่ดี

• ประหยัดสําหรับการผลิตจํานวนมาก

• เหมาะสําหรับเตาอบซินเตอร์และการผลิต LED

3.3 อลูมิเนียเซรามิก

• มีความมั่นคงถึง 1600 °C

• ราคาถูกและหลากหลาย

• เหมาะสําหรับการบรรทุกความร้อนทั่วไปและการแปรรูปเซรามิก

3.4 โลหะความแข็งแรงสูง (อลูมิเนียม / เหล็กไร้ขัด)

• ความสามารถในการแปรรูปที่ดี

• เหมาะสําหรับอุปกรณ์เครื่องจักรกล, อัตโนมัติและการจัดการ

• เหมาะสําหรับกระบวนการที่ไม่ใช้อุณหภูมิหรืออุณหภูมิกลาง

วัสดุแต่ละชนิดถูกเลือกเพื่อให้มีความสามารถสูงสุดในสภาพแวดล้อมเฉพาะเจาะจง

4การใช้งานในอุตสาหกรรมหลัก

4.1 การผลิตครึ่งตัวนํา

• ช่องบรรทุกสําหรับระบบ CVD และ PECVD

• แพลตฟอร์มสนับสนุนสําหรับกระบวนการออกซิเดชั่นและกระจาย

• เครื่องถือการผสมผสานและการแปรรูปทางความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP)

• การจัดการแผ่นและเครื่องมือการโอนอัตโนมัติ

4.2 การผลิต LED และ Optoelectronic

• ตู้บรรจุแผ่นไซฟายร์และไซซีซี

• เครื่องบรรทุกสําหรับการแปรรูปสับสราทที่อุณหภูมิสูง

• พลาตฟอร์มการสนับสนุนทางด้านกระดูกที่ต้องการโปรไฟล์ความร้อนที่มั่นคง

4.3 การประมวลผลวัสดุที่ก้าวหน้า

• โลหะแป้งและการซินเตอร์

• การเผาเยื่อเซรามิก

• ช่องบรรจุเตาอบสูญเสียอุณหภูมิสูง

4.4 เครื่องจักรกลอัตโนมัติและแม่นยํา

• วงจรหมุน

• แผ่นฐานการจัดสรร

• อินเตอร์เฟซการติดตั้งอุปกรณ์

• เครื่องขนส่งการจัดการแบบอัตโนมัติ

ความหลากหลายของมันทําให้มันเหมาะสมสําหรับสิ่งแวดล้อมทั้งอุณหภูมิและเครื่องกล

5ข้อดีสําคัญ

5.1 ประสิทธิภาพทางความร้อน

• การกระจายความร้อนอย่างเท่าเทียมกัน ทําให้จุดร้อนน้อยลง

• เหมาะสําหรับจักรยานความร้อนอย่างรวดเร็ว

• เหมาะสําหรับการทํางานที่มีความละเอียดในอุณหภูมิสูง

5.2 ความทนทานของโครงสร้าง

• ความทนทานต่อความเครียดทางกลที่ดี

• ป้องกันการบิดเบือนภายใต้ความอ้วนและการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ

• อายุการใช้งานที่ยาวนาน ลดวงจรการบํารุงรักษา

5.3 ความมั่นคงของกระบวนการ

• ความเสี่ยงในการติดเชื้อที่ต่ําเมื่อใช้ SiC หรือเซรามิก

• ความแม่นยําของมิติอย่างต่อเนื่องทําให้ผลิตภัณฑ์มีผลผลผลิตสูง

• เหมาะกับสภาพว่าง, อินเทิร์ต หรือบรรยากาศ

5.4 สามารถปรับเปลี่ยนได้

• มิติ ความหนา และรูปร่างช่องสามารถปรับแต่งได้

• วัสดุหลายชนิด

• อินเตอร์เฟซการติดตั้งกลางสามารถปรับแต่ง

• ตัวเลือกการเสร็จสิ้นพื้นผิวและการตรา

FAQ

1- ถังเซรามิก SiC คืออะไร?

กระเบื้องเซรามิก SiC เป็นตัวนําความแม่นยําที่ทําจากซิลิคอนคาร์ไบด์ความบริสุทธิ์สูง, ออกแบบมาเพื่อรองรับ, การบรรทุกและขนส่งแผ่นหรือพื้นฐานในช่วงครึ่งประสาท, LED, optical,และการผลิตด้วยกระบวนการสูญเสียมันมีความมั่นคงทางความร้อน, ความแข็งแรงทางกล และความทนทานต่อการปรับปรุงภายใต้สภาพแวดล้อมที่รุนแรง เช่น อุณหภูมิสูง, พลาสมา และกระบวนการเคมี

2ข้อดีของการใช้เทรย์ SiC เมื่อเทียบกับเทรย์ควอตซ์, กราฟิต หรืออลูมิเนียมคืออะไร?

ตู้ SiC ให้ประโยชน์ด้านการทํางานหลายอย่าง

• ทนต่ออุณหภูมิสูงถึง 1600 ∼ 1800 °C โดยไม่มีการปรับปรุง

• ความสามารถในการนําความร้อนที่ดี, รับประกันการกระจายความร้อนอย่างเท่าเทียมกัน

• ความแข็งแรงและความแข็งแรงทางกลที่โดดเด่น

• การขยายความร้อนต่ํา, ป้องกันการบิดระหว่างจักรยานความร้อน

• ความทนทานต่อการกัดกร่อนสูงกับก๊าซพลาสมาและสารเคมี

• อายุการใช้งานที่ยาวกว่าภายใต้สภาพการผลิตที่มีความเครียดสูงอย่างต่อเนื่อง

3กล่องเซรามิก SiC ใช้เป็นส่วนใหญ่สําหรับการใช้งานอะไร

กล่อง SiC ถูกใช้อย่างแพร่หลายใน:

• การทํางานกับแผ่นแผ่นครึ่งประสาท

• การแปรรูปความร้อนของ LPCVD, PECVD, MOCVD

• กระบวนการผสมผสาน, การกระจาย, การออกซิเดน, และกระบวนการ epitaxy

• การบรรจุแผ่น Sapphire/ substrate optical

• สภาพแวดล้อมระยะว่างสูงและอุณหภูมิสูง

• เครื่องปรับปรุง CMP ความแม่นยําหรือเครื่องปรับปรุงการเคลือบ

• โฟตอนิกส์และอุปกรณ์บรรจุพัสดุที่ทันสมัย

4ถัง SiC สามารถรับมือกับความร้อนได้มั้ย?

ใช่ เซรามิค SiC มีความทนทานต่อการกระแทกทางอุณหภูมิ ที่ดีเยี่ยม เนื่องจาก CTE ที่ต่ํา และความแข็งแรงในการแตกสูงทําให้มันเหมาะสมสําหรับกระบวนการจักรยานอุณหภูมิสูง.

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

6 นิ้วซิลิคอนคาร์ไบด์ SiC ท่อกราฟิตเทรย์ ความร้อนสูงทนทานแผ่นกราฟิต

ซิลิคอนคาร์ไบด์ Ceramic Chuck สําหรับ SiC ซาฟิเรีย Si GAAs Wafer

เกี่ยวกับเรา

ซีเอ็มเอสเอชเชี่ยวชาญในด้านการพัฒนาเทคโนโลยีสูง การผลิต และการขายกระจกออปติกพิเศษและวัสดุคริสตัลใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการอิเล็กทรอนิกส์ออปติก อิเล็กทรอนิกส์ผู้บริโภค และทหารเรานําเสนอ Sapphire องค์ประกอบทางออนไลน์, กล่องเลนส์โทรศัพท์มือถือ, เซรามิก, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, และแผ่นคริสตัลครึ่งนํา,เป้าหมายคือการเป็นผู้นําในอุปกรณ์ optoelectronic บริษัทเทคโนโลยีสูง