การแนะนำแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

แผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33 ซึ่งเป็นที่รู้จักกันอย่างแพร่หลายในชื่อ BOROFLOAT 33 หรือ BF 33 เป็นแผ่นเวเฟอร์แก้วโบโรซิลิเกตชนิดพิเศษที่ผลิตโดย SCHOTT ซึ่งมีคุณสมบัติทางความร้อน แสง เคมี และกลไกที่ยอดเยี่ยม คำว่า "33" ในชื่อหมายถึงค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ประมาณ 3.3 ppm/°C ซึ่งใกล้เคียงกับซิลิคอน ทำให้เป็นตัวเลือกที่นิยมสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

BOROFLOAT 33 ผลิตขึ้นโดยใช้กระบวนการ microfloat ที่เป็นนวัตกรรมของ SCHOTT ซึ่งให้วัสดุที่เป็นเนื้อเดียวกัน มีคุณภาพพื้นผิวเหมือนกระจก มีความเรียบสูง มีความขรุขระน้อย และมีความใสทางแสงที่โดดเด่นโดยรวม

องค์ประกอบวัสดุและความสมบูรณ์ของโครงสร้างของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

องค์ประกอบแก้วของ BF33 ประมาณ:

• SiO₂

• B₂O₃

• Na₂O/K₂O

• Al₂O₃ 

สูตรนี้ให้ประโยชน์ที่สำคัญ:

• ความหนาแน่นต่ำเบากว่าแก้วโซดาไลม์ทั่วไป ทำให้สามารถสร้างโครงสร้างแบบลามิเนตที่มีน้ำหนักเบาได้ (เช่น กระจกกันกระสุน)

• ปริมาณด่างต่ำซึ่งช่วยลดการชะล้างในอุปกรณ์วิเคราะห์หรืออุปกรณ์ทางการแพทย์ ลดการรบกวนระหว่างการวัด

คุณสมบัติทางความร้อนและกลไกของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

ประสิทธิภาพทางความร้อน

• ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE): ≈ 3.25 ppm/°C ซึ่งใกล้เคียงกับซิลิคอน ทำให้มั่นใจได้ว่ามีความเค้นน้อยที่สุดระหว่างการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ และจำเป็นสำหรับกระบวนการต่างๆ เช่น การเชื่อมแบบแอนโนดิก

• ทนต่ออุณหภูมิ: สูงสุด 450°C สำหรับการใช้งานระยะยาว และ 500°C สำหรับการใช้งานระยะสั้น (<10 ชม.)ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน

• : CTE ที่ต่ำและความสมบูรณ์ของโครงสร้างให้ความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว ป้องกันการแตกร้าวหรือการบิดงอความแข็งแรงเชิงกล

ความแข็ง

• : ความแข็ง Knoop สูง (≈ 480 HK) และทนทานต่อการเสียดสีได้ดีเยี่ยม เหนือกว่าแก้วโซดาไลม์ทั่วไปอย่างมากโมดูลัสยืดหยุ่น

• : ประมาณ 64 kN/mm² โดยมีอัตราส่วนปัวซงประมาณ 0.2คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้ BF33 ทนทานต่อการทะลุ การขีดข่วน และการสึกหรอเชิงกลได้ดีเยี่ยม

• คุณสมบัติทางแสงและเคมีของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

ลักษณะทางแสง

ความโปร่งใสสูง

• ในช่วงความยาวคลื่น UV, แสงที่มองเห็นได้ และ IR ใกล้ มีการเรืองแสงในตัวเองต่ำมาก เหมาะสำหรับระบบแสงและระบบวิเคราะห์ที่มีความแม่นยำสูงการส่งผ่าน UV

• : ที่ความหนา 0.5 มม. การส่งผ่าน > 90% ที่ 308 นาโนเมตร และยังคง > 35% ที่ 248 นาโนเมตร ซึ่งเหนือกว่าวัสดุแก้วบางอื่นๆ อย่างมากความทนทานต่อสารเคมี

ทนทานต่อการกัดกร่อนของน้ำ กรดแก่ ด่าง และตัวทำละลายอินทรีย์ได้อย่างดีเยี่ยม ทำให้ BF33 เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง เช่น การกัดด้วยสารละลายเปียก, CMP หรือเครื่องมือวิเคราะห์

• ความทนทานต่อการไฮโดรไลซิสและการกัดกร่อน

• ได้รับการจัดอันดับคลาส 1 ตามมาตรฐาน ISO/DINคุณภาพพื้นผิวและการผลิตแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

ซัพพลายเออร์หลายรายนำเสนอ

ขัดสองด้าน (DSP)แผ่นเวเฟอร์ BF33 ซึ่งมักมีความขรุขระของพื้นผิวต่ำกว่านาโนเมตร (< 1 นาโนเมตร Ra), TTV ที่แน่น (< 10 ไมโครเมตร) และผิวสำเร็จที่มีข้อบกพร่องต่ำ (เช่น รอยขีดข่วน/จุดบกพร่อง 60/40) เหมาะสำหรับความต้องการการผลิตระดับจุลภาคที่เข้มงวดข้อกำหนดดังกล่าวช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเรียบที่ยอดเยี่ยมและความเข้ากันได้ในการเชื่อม โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการเชื่อมแบบแอนโนดิก,

การแยกด้วยเลเซอร์,และการประกอบชิ้นส่วนด้วยแสงซึ่งคุณภาพพื้นผิวมีความสำคัญอย่างยิ่งการใช้งานทั่วไปของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33คุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมของ BF33 ทำให้เป็นวัสดุที่นิยมใช้ในหลากหลายสาขา:เซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

: แผ่นเวเฟอร์ตัวพา, การเชื่อมแบบแอนโนดิกกับซิลิคอน, การทำให้เวเฟอร์บางลง, ไมโครฟลูอิดิกส์, MEMS, เซ็นเซอร์แสง และอุปกรณ์ Lab-on-chip

แสงและโฟโตนิกส์

• : เลนส์เลเซอร์, ฟิลเตอร์, กระจก, สไลด์กล้องจุลทรรศน์ และชิ้นส่วนแสงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงการวิเคราะห์และชีวการแพทย์

• : ชิปชีวภาพ, จานไทเทรต, ระบบไมโครฟลูอิดิกส์, เครื่องมือวินิจฉัย - เนื่องจากมีการเรืองแสงในตัวเองต่ำและความบริสุทธิ์ทางเคมีการใช้งานในอุตสาหกรรม

• : ชิ้นส่วนแสงอุณหภูมิสูง, หน้าต่างเตาเผา, ฝาครอบไฟส่องสว่าง, กระจกมองสำหรับเครื่องปฏิกรณ์เคมีเทคโนโลยีพลังงานและสิ่งแวดล้อม

• : ซับสเตรตสำหรับระบบเซลล์แสงอาทิตย์, เซ็นเซอร์สิ่งแวดล้อม และอุปกรณ์ตรวจสอบสิ่งแวดล้อมแบบไมโครฟลูอิดิกส์อากาศยานและกลาโหม

• : ส่วนประกอบที่ทนทานและเสถียรทางความร้อน เช่น แผงหน้าปัด, หน้าต่างเซ็นเซอร์ และชิ้นส่วนแสงในอวกาศสรุปและข้อดีของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

• โดยสรุป แผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33 / BOROFLOAT 33 นำเสนอคุณสมบัติที่ผสมผสานกันอย่างลงตัว:คุณสมบัติ

ค่า

ปริมาณซิลิกา

คำถามที่พบบ่อย (FAQ) ของแผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33

แก้ว BF33 คืออะไร?

BF33 หรือที่รู้จักในชื่อ BOROFLOAT 33 เป็นแก้วโบโรซิลิเกตคุณภาพสูงที่ผลิตโดยใช้กระบวนการ microfloat ที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ SCHOTT มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ (~3.3 × 10⁻⁶ K⁻¹), ความทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันสูง, ความทนทานต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม และความใสทางแสงที่โดดเด่น มักจะจัดส่งในรูปแบบแผ่นเวเฟอร์สำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์, ไมโครฟลูอิดิกส์ และแสง

ความแตกต่างระหว่าง BF33 กับแก้วทั่วไปคืออะไร?

แตกต่างจากแก้วโซดาไลม์ BF33 มีซิลิกามากกว่า 80% และโบรอนออกไซด์ในปริมาณมาก ซึ่ง:

ลดการขยายตัวทางความร้อน ป้องกันการแตกร้าวระหว่างการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ

เพิ่มความทนทานต่อสารเคมีต่อกรด เบส และตัวทำละลาย

เพิ่มการส่งผ่าน UV และอินฟราเรด

• เพิ่มความแข็งแรงเชิงกลและความทนทานต่อการขีดข่วน

• เหตุใดแก้ว BF33 จึงนิยมใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และ MEMS?

• การขยายตัวทางความร้อนของมันเข้ากันได้กับซิลิคอน ทำให้สามารถเชื่อมแบบแอนโนดิกโดยไม่มีความเค้นได้ นอกจากนี้ ความทนทานต่อสารเคมียังช่วยให้ทนทานต่อการกัดด้วยสารละลายเปียก, CMP และกระบวนการในห้องคลีนรูมอื่นๆ โดยไม่เสื่อมสภาพ

• แผ่นเวเฟอร์แก้ว BF33 สามารถขัดเงาได้หรือไม่?

ใช่ แผ่นเวเฟอร์ BF33 มักจะจัดส่งในรูปแบบ DSP (Double-Side Polished) หรือ SSP (Single-Side Polished) โดยมีความขรุขระของพื้นผิว < 1 นาโนเมตร Ra และความแปรปรวนของความหนารวม (TTV) ต่ำ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการถ่ายภาพด้วยแสงและการเชื่อมแผ่นเวเฟอร์

เกี่ยวกับเรา

ZMSH เชี่ยวชาญด้านการพัฒนา การผลิต และการขายเทคโนโลยีขั้นสูงของแก้วแสงพิเศษและวัสดุผลึกใหม่ ผลิตภัณฑ์ของเราให้บริการด้านออปโตอิเล็กทรอนิกส์, อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค เรานำเสนอชิ้นส่วนแสงแซฟไฟร์, ฝาครอบเลนส์โทรศัพท์มือถือ, เซรามิก, LT, ซิลิคอนคาร์ไบด์ SIC, ควอตซ์ และแผ่นเวเฟอร์ผลึกเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยความเชี่ยวชาญและอุปกรณ์ที่ทันสมัย เรามีความเป็นเลิศในการประมวลผลผลิตภัณฑ์ที่ไม่ได้มาตรฐาน โดยมีเป้าหมายที่จะเป็นองค์กรเทคโนโลยีขั้นสูงด้านวัสดุออปโตอิเล็กทรอนิกส์ชั้นนำ