ภาพรวมผลิตภัณฑ์

กไพลินลิฟท์พินเป็นส่วนประกอบที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ ผลิตจากแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยว (Al₂O₃) ที่มีความบริสุทธิ์สูง ได้รับการออกแบบมาเพื่อการยก การวางตำแหน่ง และการถ่ายโอนแผ่นเวเฟอร์ในอุปกรณ์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ หมุดยกแซฟไฟร์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในระบบ CVD, PECVD, PVD, MOCVD, RTP, การแพร่กระจาย, การกัดกรด และ epitaxy ซึ่งจำเป็นต้องมีการทนต่ออุณหภูมิสูง ความเสถียรทางเคมี และประสิทธิภาพการทำความสะอาดเป็นพิเศษ

ด้วยความแข็งแรงเชิงกลที่โดดเด่นและความต้านทานการสึกหรอของแซฟไฟร์ หมุดยกเหล่านี้จึงช่วยลดการสร้างอนุภาค ในขณะเดียวกันก็รับประกันการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่แม่นยำตลอดกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

คุณสมบัติที่สำคัญ

แซฟไฟร์คริสตัลเดี่ยวที่มีความบริสุทธิ์สูง

ผลิตจากแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยวเกรดออปติคัลระดับพรีเมียม ให้ความบริสุทธิ์ที่ยอดเยี่ยม ความแข็งแรงเชิงกล และความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการสูง

ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม

แซฟไฟร์รักษาความเสถียรของขนาดและคุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยมที่อุณหภูมิสูง ทำให้เหมาะสำหรับการสะสมที่อุณหภูมิสูง การหลอม และอุปกรณ์การประมวลผลด้วยความร้อน

ทนต่อสารเคมีและพลาสมาได้ดีเยี่ยม

วัสดุนี้มีความทนทานต่อก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อน สภาพแวดล้อมในพลาสมา และสารเคมีที่มีฤทธิ์กัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบได้อย่างมาก

การสร้างอนุภาคต่ำเป็นพิเศษ

ด้วยความแข็ง Mohs ที่ 9 และความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม หมุดยกแซฟไฟร์ลดการปนเปื้อนของอนุภาคที่เกิดจากการเสียดสี ช่วยเพิ่มผลผลิตเวเฟอร์และความสม่ำเสมอของกระบวนการ

การผลิตที่มีความแม่นยำสูง

หมุดยกแต่ละอันได้รับการกลึงอย่างแม่นยำ ขัดเงา และตรวจสอบเพื่อให้ตรงตามมาตรฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดในด้านความแม่นยำของมิติและการตกแต่งพื้นผิว

ข้อมูลจำเพาะทั่วไป

มิติข้อมูลและความคลาดเคลื่อนที่กำหนดเองมีให้บริการตามคำขอ

การใช้งาน

Sapphire Lift Pins ใช้กันอย่างแพร่หลายใน:

• อุปกรณ์การประมวลผลเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์
• การสะสมไอสารเคมี (CVD)
• CVD ที่ปรับปรุงด้วยพลาสมา (PECVD)
• การสะสมไอทางกายภาพ (PVD)
• โลหะอินทรีย์ CVD (MOCVD)
• การประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP)
• เตากระจาย
• ระบบแกะสลักด้วยพลาสม่า
• อุปกรณ์เอพิแทกซี
• การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ SiC และ GaN
• การผลิตเวเฟอร์ LED

ข้อดีของพินลิฟท์แซฟไฟร์

• เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมภายใต้การประมวลผลที่อุณหภูมิสูง
• ความแข็งที่เหนือกว่าและความต้านทานการสึกหรอ (ความแข็ง Mohs 9)
• ทนต่อการกัดกร่อนของสารเคมีและพลาสมาได้ดีเยี่ยม
• การสร้างอนุภาคต่ำเป็นพิเศษสำหรับการใช้งานในห้องคลีนรูม
• ฉนวนไฟฟ้าสูง
• อายุการใช้งานยาวนานพร้อมการบำรุงรักษาลดลง
• ความเสถียรของมิติที่ยอดเยี่ยมสำหรับการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำ

คำถามที่พบบ่อย (FAQ)

1. สลักลิฟแซฟไฟร์คืออะไร?

หมุดยกแซฟไฟร์เป็นส่วนประกอบที่แม่นยำซึ่งทำจากแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยว (Al₂O₃) ซึ่งใช้ในการยก รองรับ และจัดตำแหน่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการผลิต โดยทั่วไปจะติดตั้งใน CVD, PVD, PECVD, MOCVD, RTP และอุปกรณ์แกะสลักที่ต้องการอุณหภูมิสูง ทนต่อสารเคมี และการสร้างอนุภาคต่ำ

2. เหตุใดจึงใช้แซฟไฟร์สำหรับหมุดยก?

แซฟไฟร์มีข้อดีมากกว่าวัสดุเซรามิกหรือโลหะทั่วไปหลายประการ ได้แก่:

• มีเสถียรภาพในอุณหภูมิสูงได้ดีเยี่ยม
• ความต้านทานการสึกหรอที่เหนือกว่า (ความแข็ง Mohs 9)
• การสร้างอนุภาคต่ำ
• ทนต่อสารเคมีและพลาสมาได้ดีเยี่ยม
• ฉนวนไฟฟ้าสูง
• อายุการใช้งานยาวนาน

คุณสมบัติเหล่านี้ทำให้แซฟไฟร์เป็นวัสดุในอุดมคติสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำ

3. อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ใดบ้างที่ใช้หมุดยกแซฟไฟร์

หมุดยกแซฟไฟร์ใช้กันอย่างแพร่หลายใน:

• ระบบซีวีดี
• ระบบ PECVD
• อุปกรณ์พีวีดี
• เครื่องปฏิกรณ์ MOCVD
• ระบบอาร์ทีพี
• เตากระจาย
• อุปกรณ์แกะสลักพลาสม่า
• ระบบการตรวจสอบและการจัดการแผ่นเวเฟอร์
• อุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ SiC และ GaN