กล่องเซรามิกซิลิคคาร์ไบด์ ราคาสูง SiC เซรามิกปลายประสิทธิภาพสําหรับการจัดการกับแผ่นครึ่งตัวนํา

ภาพรวมสินค้า

Silicon Carbide Ceramic Fork เป็นส่วนประกอบเซรามิกที่ออกแบบด้วยความแม่นยําที่ออกแบบมาสําหรับระบบการจัดการแผ่นครึ่งประสาท, อุปกรณ์โอนหุ่นยนต์และการประมวลผลอุปกรณ์อุปกรณ์อุณหภูมิสูง.ผลิตจากวัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่ทันสมัย ให้ความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม ความมั่นคงทางความร้อน และความทนทานต่อสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง
 
ในการผลิตครึ่งประสาท ระบบโอนแผ่นต้องการองค์ประกอบที่สามารถรักษาตําแหน่งที่แม่นยําและผลงานทางกลที่มั่นคงตลอดการปฏิบัติการซ้ําซ้ําติดตั้งที่ปลายแขนหุ่นยนต์, กระดานเซรามิก SiC สนับสนุนและโอนแผ่นระหว่างคาเซ็ต, ท่าฝาก, ห้องว่างและอุปกรณ์การประมวลผล.

 
เมื่อเปรียบเทียบกับส่วนประกอบโลหะประจํา และวัสดุเซรามิคประจําทาง ซิลิคอนคาร์ไบด์ความสามารถในการนําไฟได้ดีเยี่ยม และความทนทานต่อการสกัดอย่างดีเยี่ยมคุณลักษณะเหล่านี้ทําให้มันเหมาะสมโดยเฉพาะอย่างยิ่งสําหรับสภาพแวดล้อมการผลิตครึ่งประสาทที่ต้องการที่ควบคุมอุณหภูมิ ความมั่นคงด้านมิติและการลดภาวะ.
 

ลักษณะและข้อดีสําคัญ

ทนต่ออุณหภูมิสูง

ซิลิคอนคาร์ไบด์รักษาคุณสมบัติทางกลที่ดีเยี่ยมในอุณหภูมิสูงความมั่นคงทางความร้อนทําให้มันเหมาะสําหรับระบบโอนแผ่นและอุปกรณ์ครึ่งประสาทที่ทํางานภายใต้สภาพความร้อนที่ต้องการ.

ความสามารถในการนําความร้อนสูง

เซรามิค SiC มีความสามารถในการนําความร้อนสูง ทําให้การถ่ายทอดความร้อนมีประสิทธิภาพและช่วยลดความร้อนในส่วนประกอบนี้เป็นประโยชน์โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับโวฟเฟอร์ร้อนและสภาพแวดล้อมที่ต้องการความร้อน.

ความทนทานต่อการสกัด

ด้วยความแข็งแรงที่สูงมาก ซิลิคอนคาร์ไบด์ให้ความทนทานที่ดีต่อการบดและการสกัดกลมันช่วยรักษาพื้นผิวสัมผัสของฟอร์คและความแม่นยําของมิติระหว่างการทํางานซ้ําซ้ําในการจัดการกับวอฟเฟอร์.

ความแข็งแรงทางกลสูง

ซิลิคอนคาร์ไบด์รวมโมดูลความยืดหยุ่นสูงกับความหนาแน่นที่ค่อนข้างต่ํา ให้ความแข็งแกร่งโครงสร้างที่ดีเยี่ยมโดยเฉพาะในโครงสร้างกระดานยาวและบาง.

การขยายความร้อนที่ต่ํา

คณิตการขยายความร้อนที่ต่ําช่วยในการรักษาความมั่นคงของมิติระหว่างอัตราการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ, สนับสนุนการตั้งตําแหน่งและความแม่นยําในการถ่ายทอดแผ่นสับสน.

ความทนทานต่อการกัดกรองทางเคมีที่ดี

ซีซีเซรามิกแสดงความทนทานที่แข็งแกร่งต่อกรด, แอลคาลีและสารเคมีที่ทําลายล้างหลายชนิด มันเหมาะสําหรับอุปกรณ์ครึ่งประสาทที่เผชิญกับสภาพแวดล้อมการแปรรูปเคมีขึ้นอยู่กับเกรดวัสดุและสภาพการทํางานเฉพาะเจาะจง.

การทํางานของพื้นที่ที่สะอาดและมั่นคง

เซรามิกซิลิคคาร์ไบด์สามารถถูกบดแม่นยําและเคลือบเพื่อบรรลุคุณภาพผิวที่ควบคุมได้การทําปลายพื้นที่ที่เหมาะสมช่วยลดการเสื่อมของเครื่องจักรกลและการสร้างอนุภาคระหว่างการสัมผัสและการโอนแผ่น.

การใช้งาน

กระดานเซรามิกซิลิคคาร์ไบด์ถูกออกแบบเป็นหลักสําหรับการโอนไวเฟอร์ความแม่นยําและระบบการจัดการอัตโนมัติ

• การโอนแผ่นซิลิคอนดักเตอร์: การสนับสนุนและโอนแผ่นซิลิคอนระหว่างสถานีการประมวลผลที่แตกต่างกัน

• โรบอติก แฮนด์เลอร์: ทําหน้าที่เป็นผู้ผลิตปลายหรือการจัดการใบไม้ของหุ่นยนต์โอนครึ่งประสาท

• อุปกรณ์การประมวลผลด้วยความว่าง: ใช้ในโมดูลการถ่ายโอนแผ่นและระบบอัตโนมัติความว่าง

• การประยุกต์ใช้ในอุปกรณ์อุณหภูมิสูง: การจัดการกับแผ่นและพื้นฐานในอุปกรณ์ที่ต้องการความร้อน

• อุปกรณ์ทําความสะอาดแผ่น: รองรับการชะมัดและชะมัดการชะมัดการชะมัด

• ระบบอัตโนมัติความแม่นยํา: การจัดการกับพื้นฐานครึ่งนําและส่วนประกอบที่อ่อนแออื่น ๆ ที่ต้องการความมั่นคงขนาดสูง

ตัวเลือกการปรับแต่ง

เราจัดหาฟอร์กเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ตามความต้องการตามภาพวาดของลูกค้า ตัวอย่างและรายละเอียดอุปกรณ์
ตัวเลือกการปรับแต่งที่สามารถใช้ได้ ได้แก่

• SiC (SSiC) ที่ซินเตอร์โดยไม่ต้องกดดัน

• SiC ที่เชื่อมต่อด้วยปฏิกิริยา (RBSiC / SiSiC) ขึ้นอยู่กับความต้องการการใช้งาน

• ความยาว, ความกว้าง และความหนาของฟอร์กตามความต้องการ

• โครงสร้างมีกระดานเดียวและหลายกระดาน

• หลุมติดตั้งแม่นยําและอินเตอร์เฟซติดตั้ง

• พื้นที่รองรับและพื้นที่สัมผัสของวอลเฟอร์ที่กําหนดเอง

• ช่องสูบและช่องดูด

• การบดแม่นยําและการเคลือบผิว

• ความอนุญาตขนาดและความต้องการความเรียบตามความต้องการ

กระบวนการผลิต SiC ที่แตกต่างกันสามารถผลิตลักษณะของวัสดุที่แตกต่างกัน ดังนั้นการเลือกวัสดุควรพิจารณาอุณหภูมิการทํางานความต้องการทางไฟฟ้าและสภาพสัมผัสของแผ่น.

รายละเอียดเทคนิค

ตารางต่อไปนี้ให้ข้อมูลทั่วไปสําหรับผลิตภัณฑ์ฟอร์กเซรามิกซิลิคคาร์ไบด์ รายละเอียดที่แท้จริงขึ้นอยู่กับคุณภาพของวัสดุ, กระบวนการผลิตและการออกแบบที่กําหนดเอง

ทําไมต้องเลือกฟอร์คเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

เนื่องจากกระบวนการผลิตครึ่งประสาทยังคงก้าวหน้า ส่วนประกอบในการจัดการกับแผ่นค้อนธาตุคาดว่าจะให้ความแม่นยําสูงขึ้น ความมั่นคงทางความร้อนที่ดีขึ้น และอายุการใช้งานยาวนานขึ้น
 
ซีลิกอนคาร์ไบด์เซรามิกมีข้อดีหลายอย่างสําหรับการใช้งานเหล่านี้ ความแข็งแรงสูงของมันช่วยลดการปรับปรุงทางกลขณะที่การขยายความร้อนที่ต่ําของมันสนับสนุนความมั่นคงด้านมิติภายใต้อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงความแข็งแรงสูงและความทนทานต่อสารเคมีเพิ่มความเหมาะสมต่อสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ต้องการ
 
สําหรับการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับใบย้ายยาว, อุณหภูมิที่สูงขึ้นหรือการเผชิญหน้ากับสารเคมีที่รุนแรง, SiC เซรามิคสามารถนําเสนอข้อดีต่อเซรามิคอลูมิเนียธรรมดาแม้วัสดุที่ดีที่สุดจะขึ้นอยู่กับสภาพของอุปกรณ์จริง.
 
ผ่านการแปรรูปแม่นยําและการออกแบบโครงสร้างที่กําหนดเอง กล่องเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์สามารถผลิตได้ เพื่อตอบสนองขนาดวอฟเฟอร์ที่แตกต่างกันความต้องการในการจัดตั้งหุ่นยนต์และอุปกรณ์ครึ่งตัวนํา.

คําถามที่พบบ่อย รางซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิก

1หมักเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์คืออะไร?

หมักเซรามิกซิลิคคาร์ไบด์ เป็นส่วนประกอบเซรามิกความแม่นยําที่ใช้ในการจัดการแผ่นครึ่งประสาทและระบบการโอนอัตโนมัติปกติจะติดตั้งที่ปลายแขนหุ่นยนต์เพื่อรองรับและโอนแผ่นระหว่างสถานีการประมวลผลที่แตกต่างกัน.

2ข้อดีหลักของฟอร์คเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์คืออะไร?

กรงเซรามิกซิลิคคาร์ไบดมีข้อดีหลายอย่าง เช่น ความแข็งแรงสูง ความทนทานต่อการสกัดที่ดีมาก ความสามารถในการนําไฟสูง การขยายความร้อนต่ํา และความทนทานต่อการกัดเคมีที่ดีคุณสมบัติเหล่านี้ทําให้มันเหมาะสมกับสภาพแวดล้อมการผลิตครึ่งประสาทที่ต้องการ.

3ทําไมซิลิคอนคาร์ไบด์จึงใช้ในอุปกรณ์การจัดการแผ่นแผ่นครึ่งนํา

ซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกเลือกสําหรับความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม ความมั่นคงทางความร้อนและความทนทานต่อสภาพการทํางานที่ยากลําบากมันช่วยรักษาความแม่นยําของมิติและการตั้งตําแหน่ง wafer ที่น่าเชื่อถือ ระหว่างการดําเนินการโอนซ้ํา.
 

สินค้าที่เกี่ยวข้อง

อุปกรณ์ที่กําหนดเองของเซรามิก End Effector Alumina Ceramic Handling Arm สําหรับการรับมือกับแผ่นแผ่นครึ่งตัวนํา