 |
6 นิ้ว LiTaO3 LiNbO3 เวเฟอร์โพลาไรซ์สีดำสำหรับ SAW / BAW 128 องศา Y Z-Cut
รายละเอียดสินค้า:
| สถานที่กำเนิด: | จีน |
| ชื่อแบรนด์: | ZMKJ |
| ได้รับการรับรอง: | ROHS |
| หมายเลขรุ่น: | JZ-4INCH-LNOI |
การชำระเงิน:
| จำนวนสั่งซื้อขั้นต่ำ: | 2 ชิ้น |
|---|---|
| ราคา: | by case |
| รายละเอียดการบรรจุ: | ภาชนะเวเฟอร์เดียวในห้องทำความสะอาด |
| เวลาการส่งมอบ: | 4 สัปดาห์ |
| เงื่อนไขการชำระเงิน: | T / T, Western Union, เพย์พาล |
| สามารถในการผลิต: | 10 ชิ้น/เดือน |
|
ข้อมูลรายละเอียด |
|||
| วัสดุ: | ชั้น LiNbO3 บนพื้นผิวซิลิกอน | ความหนาของชั้น: | 300-1000นาโนเมตร |
|---|---|---|---|
| ปฐมนิเทศ: | เอ็กซ์-คัท | ใบสมัคร 2: | 5G เลื่อย/อุปกรณ์ BAW |
| รา: | 0.5นาโนเมตร | ชั้นแยก: | Sio2 |
| พื้นผิว: | 525um | ขนาด: | 4นิ้ว 6นิ้ว 8นิ้ว |
| แสงสูง: | เวเฟอร์ LiNbO3 ขนาด 6 นิ้ว,เวเฟอร์ BAW LiNbO3,เวเฟอร์ Z-Cut LiTaO3 |
||
รายละเอียดสินค้า
6 นิ้ว LiTaO3 LiNbO3 เวเฟอร์สีดำโพลาไรซ์สำหรับการใช้งาน SAW / BAW 128 องศา Y Z-Cut
ลิเธียมไนโอเบต (LiNbO3)ผลึกเดี่ยวเป็นผลึกเฟอโรอิเล็กทริกที่มีค่าสัมประสิทธิ์การต่อเชื่อมระบบเครื่องกลไฟฟ้าสูงและการสูญเสียการแพร่กระจายต่ำ ซึ่งสามารถใช้ประดิษฐ์อุปกรณ์ SAW ที่มีแบนด์วิดท์สูงถึง 50%คุณสมบัติคลื่นพื้นผิวอะคูสติกของวัสดุผลึกเดี่ยวลิเธียมไนโอเบตมีความสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับการวางแนวและทิศทางการแพร่กระจายตามมุมการตัดและทิศทางการแพร่กระจายที่แตกต่างกัน ความเร็วในการเลื่อยเลื่อยคือ 3400~4000m/s ค่าสัมประสิทธิ์การต่อเชื่อมแบบเครื่องกลไฟฟ้าคือ 0%~5.6% และค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิคือ -1.1~-95.6(10^-6/℃)
ลิเธียมแทนทาเลต (LiTaO3)มีลักษณะทางแสงแบบเพียโซอิเล็กทริก อิเล็กโทรออปติก และแบบไม่เชิงเส้น และช่วงความโปร่งใสที่กว้างตั้งแต่อัลตราไวโอเลตไปจนถึงอินฟราเรดเป็นที่พึงปรารถนาว่าแผ่นเวเฟอร์ LiTaO3 เป็นพื้นผิวเรียบเพื่อให้ใช้งานได้อย่างมีคุณภาพดีการขัดเชิงกลด้วยเคมี (CMP) ถูกนำมาใช้เพื่อวางแผนวงจรรวม (ICs) หรือเพื่อให้ได้พื้นผิวที่มีคุณภาพสูงของพื้นผิวบทความนี้ตรวจสอบผลกระทบของกรดซิตริกในฐานะสารเติมแต่งในสารละลายสำหรับ LiTaO3 CMPความหยาบของเวเฟอร์ถูกวัดด้วยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM, XE-100) หลังจากการขัดเงาสารละลายซึ่งมีกรดซิตริกเป็นสารเติมแต่งมีอัตราการกำจัดวัสดุและแรงเสียดทานสูงกว่าสารละลายที่ไม่มีสารเติมแต่งหลังจากการขัดเงา ความหยาบผิวของแผ่นเวเฟอร์ LiTaO3 สามารถลดลงเหลือ 1.7A ของ Ra
ข้อมูลจำเพาะลักษณะ
| โครงสร้างคริสตัล | Trigonal, Space group R3c, Point group 3m |
| จุดหลอมเหลว | 1253 ℃ |
| ความแข็งของโมห์ส | 5 |
| ความหนาแน่น (g/cm3) | 4.64 |
| ของกำนัล | ไม่มี |
| ความสม่ำเสมอทางแสง | ~5x10-5/ซม |
| ช่วงความโปร่งใส | 420-5200นาโนเมตร |
| ค่าสัมประสิทธิ์การดูดซึม | ~0.1%/ซม. @1064nm |
ดัชนีการหักเหของแสง | ne=2.146, no=2.220@1300nm |
| ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (ที่ 25 ℃ ) | //ก,2.0x10-6/ก |
| ค่าสัมประสิทธิ์การนำความร้อน | 38 วัตต์/เมตร/กิโลวัตต์ ที่ 25 ℃ |
| ค่าสัมประสิทธิ์ทางความร้อน | dno/dT=-0.874 x 10-6/K ที่1.4μm |
สมการ Sellmeier | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750)-0.027169λ2 |
| วัสดุ | เลื่อยเวเฟอร์ 3" 4" 6" LT/เกรดออปติคัล | ||
| ปฐมนิเทศ | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ หรือกำหนดเอง | ||
| อุณหภูมิคูรี | 605°C±3°C | ||
| เจือด้วย | เฟ | ||
| โดเมนเดียว | โพลาไรเซชันเสร็จสมบูรณ์ / ลดลง | ||
| ปฐมนิเทศ | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||
| เส้นผ่านศูนย์กลาง | 76.2±0.2มม | 100±0.2มม | 150±0.2มม |
| ป.แฟลต | 22±1มม | 32±1มม | 47.5 มม., 57.5 มม., บาก |
| ความหนา | 0.07mm~1.0mm | 0.1mm~1.0mm | 0.35มม.~1.0มม |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | ขัดด้านเดียว / สองด้าน / ขัดสองด้าน | ||
| ทีทีวี | < 1~5µm | ||
| โค้งคำนับ | ± (20µm ~40um) | ||
| วาร์ป | <= 20µm ~ 50µm | ||
| LTV (5มม.x5มม.) | <1.5 หนอ | ||
| PLTV (<0.5um) | ≥98% (5 มม. * 5 มม.) โดยไม่รวมขอบ 2 มม | ||
| ด้านขัด Ra | ความหยาบ Ra<=5A | ||
| เกณฑ์ด้านหลัง | ความหยาบ Ra:0.5-1.0µm, GC#1000 | ||
| ขูด & ขุด (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 | ||
| ขอบโปรไฟล์ | สอดคล้องกับ SEMI M1.2@with GC800# .regular ที่ C พิมพ์ | ||
| รอยแตก, รอยเลื่อย, คราบ | ไม่มี | ||
การแสดง LiTaO3 Wafer และ LiNbO3
...