เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท
รายละเอียดสินค้า:
สถานที่กำเนิด: | จีน |
ชื่อแบรนด์: | ZMSH |
ข้อมูลรายละเอียด |
|||
ขนาด: | 7740 × 3390 × 2300 มม. (L × W × H) | พลังงานไฟฟ้า: | AC380V, 50Hz, พลังงานทั้งหมด 90kW |
---|---|---|---|
อุปทานนิวเมติก: | 2m³/h, 0.4-0.5mpa อากาศแห้งที่ปราศจากน้ำมัน | จําหน่ายน้ํา: | 2T/H @0.3MPA, ≥12mΩ·ความต้านทาน CM |
เน้น: | อุตสาหกรรมครึ่งประสาท การทําความสะอาด การปัดเทียม เครื่องบูรณาการ,เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก |
รายละเอียดสินค้า
ภาพรวมสินค้า
เครื่องทําความสะอาดและปอกแผ่นเซรามิคที่บูรณาการนี้รวมกันเครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิคหนึ่งกับเครื่องติดแผ่นเซรามิคสองสําหรับการทําความสะอาดประสิทธิภาพสูงและการปอกกระดาษในอุตสาหกรรมซาฟฟีร์และครึ่งประสาท, การบรรลุอัตราการผลิตที่มั่นคง 99.9%
รายละเอียดเทคนิค
ปริมาตร | มูลค่า |
ขนาด | 7740 × 3390 × 2300 มิลลิเมตร (L × W × H) |
พลังงาน | AC380V, 50Hz, พลังงานรวม 90KW |
พลังงานปนูเมติก | 2m3/h, 0.4-0.5MPa อากาศแห้งไร้น้ํามัน |
จําหน่ายน้ํา | 2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm ความต้านทาน |
หลักการทํางาน
ขั้นตอนการทําความสะอาดแผ่นเซรามิก
-
การทําความสะอาดอย่างแม่นยํา: ใช้การทําความสะอาด ultrasonic ด้วยน้ํา deionized (≥ 12MΩ · cm) เพื่อกําจัดสารปนเปื้อนระดับไมครอนจากแผ่นเซรามิก
-
ระบบแห้ง: มีดอากาศที่มีประสิทธิภาพสูงและการแห้งด้วย Vakuum ทําให้ความชื้นที่เหลือไม่เหลือ
กระบวนการปอกสีแบบอัตโนมัติ
-
การปรับสายตา: กล้อง CCD สแกนพิกัดพื้นผิวของแผ่น, ประสบความแม่นยําการตั้งตําแหน่ง ± 0.02 มม.
-
การฝังเทียมที่ควบคุม: หัวกระจายเทียมเทียมที่สามารถเขียนโปรแกรมได้ ใช้เทียมเทียม 0.8g±0.05g ต่อแผ่น
-
การปรับปรุงความดัน: เครื่องขับเคลื่อนปนูเมติกรักษาความดันสัมผัสแบบเสมอภาค 5-10N / cm2 ระหว่างการติดตั้งแผ่น
การควบคุมแบบบูรณาการ
-
การดําเนินงานที่ร่วมกัน: PLC ประสานงานโมดูลการทําความสะอาดและสถานีการปอกสีคู่, ทําให้การประมวลผลปานกลาง (สูงสุด 30 ดิสก์ / ชั่วโมง)
-
ความตอบสนองที่มีคุณภาพ: เซ็นเซอร์ความหนาในเวลาจริงตรวจจับความเหมือนกันของชั้นปูน ปรับปรุงปริมาตรโดยอัตโนมัติถ้าความเบี่ยงเบนเกิน ± 3%
ข้อดีสําคัญ
-
ประสิทธิภาพด้านพลังงาน: อัตราการรีไซเคิลน้ําบริสุทธิ์ > 80%, การบริโภคเทียม 0.8 กรัม/วาเฟอร์, พลังงานต่ํากว่า 35% ต่อแผ่น
-
การเชื่อมต่อแบบสมาร์ท: รองรับ MES/ERP สําหรับการติดตามข้อมูลกระบวนการทั้งหมด (ความหนา/ความดัน/เวลา)
-
ความสามารถในการปรับขนาด: อุปกรณ์และสูตรที่สามารถปรับแต่งเองได้ สําหรับแผ่นไม่มาตรฐาน Φ300-650 มม
ความสามารถในการผลิต
ขนาดของวอเฟอร์ | กว้างแผ่น | จํานวน | ระยะเวลาวงจร |
4 นิ้ว | Φ485mm | 11 ชิ้น | 5 นาที/แผ่น |
4 นิ้ว | Φ576mm | 13 ชิ้น | 6 นาที/แผ่น |
6 นิ้ว | Φ485mm | 6 ชิ้น | 3 นาที/แผ่น |
6 นิ้ว | Φ576mm | 8 ชิ้น | 4 นาที/แผ่น |
8 นิ้ว | Φ485mm | 3 ชิ้น | 2 นาที/แผ่น |
8 นิ้ว | Φ576mm | 5 ชิ้น | 3 นาที/แผ่น |
การใช้งาน
การบําบัดแผ่นเซรามิกแบบเต็มกระบวนการ: การทําความสะอาด→การแห้ง→การปรับสีในเครื่องเดียว
ใช้ในการแปรรูปวัสดุครึ่งประสาท เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซิลิคอน (Si) กัลลিয়ামไนไตรด์ (GaN) และยังสามารถใช้ได้สําหรับวัสดุเช่นซาฟฟีร์ เซรามิค คริสตัลMEMSและผลิตภัณฑ์แสง
คําถามและคําตอบ
Q1: วิธีการรับประกันอัตราผลิต?
A1: ระบบการมองเห็นพิเศษสําหรับแผ่นเซรามิก ทําให้มีความแม่นยําในการจัดอันดับในเวลาจริง ± 0.02 มม.
Q2: การบริโภคน้ําในการทําความสะอาดแผ่นเซรามิก?
A2: อัตราการรีไซเคิลน้ํา > 80%, การบริโภค ≤ 0.5L/disc
Q3: วิธีการที่จะบรรลุการเปลี่ยนขนาดของแผ่นไว?
A3: ห้องสมุดเครื่องติดตั้งสมาร์ทของเครื่องที่บูรณาการเปลี่ยนเครื่องมือโดยอัตโนมัติผ่านการเลือก HMI (เวลาเปลี่ยน <3 นาที)