• เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท
  • เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท
  • เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท
เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท

เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท

รายละเอียดสินค้า:

สถานที่กำเนิด: จีน
ชื่อแบรนด์: ZMSH
ราคาถูกที่สุด ติดต่อ

ข้อมูลรายละเอียด

ขนาด: 7740 × 3390 × 2300 มม. (L × W × H) พลังงานไฟฟ้า: AC380V, 50Hz, พลังงานทั้งหมด 90kW
อุปทานนิวเมติก: 2m³/h, 0.4-0.5mpa อากาศแห้งที่ปราศจากน้ำมัน จําหน่ายน้ํา: 2T/H @0.3MPA, ≥12mΩ·ความต้านทาน CM
เน้น:

อุตสาหกรรมครึ่งประสาท การทําความสะอาด การปัดเทียม เครื่องบูรณาการ

,

เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก

รายละเอียดสินค้า

 

ภาพรวมสินค้า

 

เครื่องทําความสะอาดและปอกแผ่นเซรามิคที่บูรณาการนี้รวมกันเครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิคหนึ่งกับเครื่องติดแผ่นเซรามิคสองสําหรับการทําความสะอาดประสิทธิภาพสูงและการปอกกระดาษในอุตสาหกรรมซาฟฟีร์และครึ่งประสาท, การบรรลุอัตราการผลิตที่มั่นคง 99.9%

 

รายละเอียดเทคนิค

 

ปริมาตร มูลค่า
ขนาด 7740 × 3390 × 2300 มิลลิเมตร (L × W × H)
พลังงาน AC380V, 50Hz, พลังงานรวม 90KW
พลังงานปนูเมติก 2m3/h, 0.4-0.5MPa อากาศแห้งไร้น้ํามัน
จําหน่ายน้ํา 2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm ความต้านทาน

 

 

หลักการทํางาน

ขั้นตอนการทําความสะอาดแผ่นเซรามิก

  • การทําความสะอาดอย่างแม่นยํา: ใช้การทําความสะอาด ultrasonic ด้วยน้ํา deionized (≥ 12MΩ · cm) เพื่อกําจัดสารปนเปื้อนระดับไมครอนจากแผ่นเซรามิก

  • ระบบแห้ง: มีดอากาศที่มีประสิทธิภาพสูงและการแห้งด้วย Vakuum ทําให้ความชื้นที่เหลือไม่เหลือ

กระบวนการปอกสีแบบอัตโนมัติ

  • การปรับสายตา: กล้อง CCD สแกนพิกัดพื้นผิวของแผ่น, ประสบความแม่นยําการตั้งตําแหน่ง ± 0.02 มม.

  • การฝังเทียมที่ควบคุม: หัวกระจายเทียมเทียมที่สามารถเขียนโปรแกรมได้ ใช้เทียมเทียม 0.8g±0.05g ต่อแผ่น

  • การปรับปรุงความดัน: เครื่องขับเคลื่อนปนูเมติกรักษาความดันสัมผัสแบบเสมอภาค 5-10N / cm2 ระหว่างการติดตั้งแผ่น

การควบคุมแบบบูรณาการ

  • การดําเนินงานที่ร่วมกัน: PLC ประสานงานโมดูลการทําความสะอาดและสถานีการปอกสีคู่, ทําให้การประมวลผลปานกลาง (สูงสุด 30 ดิสก์ / ชั่วโมง)

  • ความตอบสนองที่มีคุณภาพ: เซ็นเซอร์ความหนาในเวลาจริงตรวจจับความเหมือนกันของชั้นปูน ปรับปรุงปริมาตรโดยอัตโนมัติถ้าความเบี่ยงเบนเกิน ± 3%

ข้อดีสําคัญ

  • ประสิทธิภาพด้านพลังงาน: อัตราการรีไซเคิลน้ําบริสุทธิ์ > 80%, การบริโภคเทียม 0.8 กรัม/วาเฟอร์, พลังงานต่ํากว่า 35% ต่อแผ่น

  • การเชื่อมต่อแบบสมาร์ท: รองรับ MES/ERP สําหรับการติดตามข้อมูลกระบวนการทั้งหมด (ความหนา/ความดัน/เวลา)

  • ความสามารถในการปรับขนาด: อุปกรณ์และสูตรที่สามารถปรับแต่งเองได้ สําหรับแผ่นไม่มาตรฐาน Φ300-650 มม

ความสามารถในการผลิต

ขนาดของวอเฟอร์ กว้างแผ่น จํานวน ระยะเวลาวงจร
4 นิ้ว Φ485mm 11 ชิ้น 5 นาที/แผ่น
4 นิ้ว Φ576mm 13 ชิ้น 6 นาที/แผ่น
6 นิ้ว Φ485mm 6 ชิ้น 3 นาที/แผ่น
6 นิ้ว Φ576mm 8 ชิ้น 4 นาที/แผ่น
8 นิ้ว Φ485mm 3 ชิ้น 2 นาที/แผ่น
8 นิ้ว Φ576mm 5 ชิ้น 3 นาที/แผ่น

 

 

การใช้งาน

การบําบัดแผ่นเซรามิกแบบเต็มกระบวนการ: การทําความสะอาด→การแห้ง→การปรับสีในเครื่องเดียว

 

ใช้ในการแปรรูปวัสดุครึ่งประสาท เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซิลิคอน (Si) กัลลিয়ামไนไตรด์ (GaN) และยังสามารถใช้ได้สําหรับวัสดุเช่นซาฟฟีร์ เซรามิค คริสตัลMEMSและผลิตภัณฑ์แสง

 

เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท 0

 

คําถามและคําตอบ

Q1: วิธีการรับประกันอัตราผลิต?
A1: ระบบการมองเห็นพิเศษสําหรับแผ่นเซรามิก ทําให้มีความแม่นยําในการจัดอันดับในเวลาจริง ± 0.02 มม.

 

Q2: การบริโภคน้ําในการทําความสะอาดแผ่นเซรามิก?
A2: อัตราการรีไซเคิลน้ํา > 80%, การบริโภค ≤ 0.5L/disc

 

Q3: วิธีการที่จะบรรลุการเปลี่ยนขนาดของแผ่นไว?
A3: ห้องสมุดเครื่องติดตั้งสมาร์ทของเครื่องที่บูรณาการเปลี่ยนเครื่องมือโดยอัตโนมัติผ่านการเลือก HMI (เวลาเปลี่ยน <3 นาที)

 

ต้องการทราบรายละเอียดเพิ่มเติมเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์นี้
ฉันสนใจ เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท คุณช่วยส่งรายละเอียดเพิ่มเติมเช่นประเภทขนาดปริมาณวัสดุ ฯลฯ ให้ฉันได้ไหม
ขอบคุณ!