ปริมาตร	มูลค่า
ขนาด	7740 × 3390 × 2300 มิลลิเมตร (L × W × H)
พลังงาน	AC380V, 50Hz, พลังงานรวม 90KW
พลังงานปนูเมติก	2m3/h, 0.4-0.5MPa อากาศแห้งไร้น้ํามัน
จําหน่ายน้ํา	2T/h @0.3MPa, ≥12MΩ·cm ความต้านทาน

หลักการทํางาน

ขั้นตอนการทําความสะอาดแผ่นเซรามิก

การทําความสะอาดอย่างแม่นยํา: ใช้การทําความสะอาด ultrasonic ด้วยน้ํา deionized (≥ 12MΩ · cm) เพื่อกําจัดสารปนเปื้อนระดับไมครอนจากแผ่นเซรามิก
ระบบแห้ง: มีดอากาศที่มีประสิทธิภาพสูงและการแห้งด้วย Vakuum ทําให้ความชื้นที่เหลือไม่เหลือ

กระบวนการปอกสีแบบอัตโนมัติ

การปรับสายตา: กล้อง CCD สแกนพิกัดพื้นผิวของแผ่น, ประสบความแม่นยําการตั้งตําแหน่ง ± 0.02 มม.
การฝังเทียมที่ควบคุม: หัวกระจายเทียมเทียมที่สามารถเขียนโปรแกรมได้ ใช้เทียมเทียม 0.8g±0.05g ต่อแผ่น
การปรับปรุงความดัน: เครื่องขับเคลื่อนปนูเมติกรักษาความดันสัมผัสแบบเสมอภาค 5-10N / cm2 ระหว่างการติดตั้งแผ่น

การควบคุมแบบบูรณาการ

การดําเนินงานที่ร่วมกัน: PLC ประสานงานโมดูลการทําความสะอาดและสถานีการปอกสีคู่, ทําให้การประมวลผลปานกลาง (สูงสุด 30 ดิสก์ / ชั่วโมง)
ความตอบสนองที่มีคุณภาพ: เซ็นเซอร์ความหนาในเวลาจริงตรวจจับความเหมือนกันของชั้นปูน ปรับปรุงปริมาตรโดยอัตโนมัติถ้าความเบี่ยงเบนเกิน ± 3%

ข้อดีสําคัญ

ประสิทธิภาพด้านพลังงาน: อัตราการรีไซเคิลน้ําบริสุทธิ์ > 80%, การบริโภคเทียม 0.8 กรัม/วาเฟอร์, พลังงานต่ํากว่า 35% ต่อแผ่น
การเชื่อมต่อแบบสมาร์ท: รองรับ MES/ERP สําหรับการติดตามข้อมูลกระบวนการทั้งหมด (ความหนา/ความดัน/เวลา)
ความสามารถในการปรับขนาด: อุปกรณ์และสูตรที่สามารถปรับแต่งเองได้ สําหรับแผ่นไม่มาตรฐาน Φ300-650 มม

ความสามารถในการผลิต

ขนาดของวอเฟอร์	กว้างแผ่น	จํานวน	ระยะเวลาวงจร
4 นิ้ว	Φ485mm	11 ชิ้น	5 นาที/แผ่น
4 นิ้ว	Φ576mm	13 ชิ้น	6 นาที/แผ่น
6 นิ้ว	Φ485mm	6 ชิ้น	3 นาที/แผ่น
6 นิ้ว	Φ576mm	8 ชิ้น	4 นาที/แผ่น
8 นิ้ว	Φ485mm	3 ชิ้น	2 นาที/แผ่น
8 นิ้ว	Φ576mm	5 ชิ้น	3 นาที/แผ่น

การใช้งาน

การบําบัดแผ่นเซรามิกแบบเต็มกระบวนการ: การทําความสะอาด→การแห้ง→การปรับสีในเครื่องเดียว

ใช้ในการแปรรูปวัสดุครึ่งประสาท เช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซิลิคอน (Si) กัลลিয়ামไนไตรด์ (GaN) และยังสามารถใช้ได้สําหรับวัสดุเช่นซาฟฟีร์ เซรามิค คริสตัลMEMSและผลิตภัณฑ์แสง

เครื่องทําความสะอาดแผ่นเซรามิก-วัคซิ่ง เครื่องบูรณาการ อัตโนมัติอุตสาหกรรมครึ่งประสาท 0

คําถามและคําตอบ

Q1: วิธีการรับประกันอัตราผลิต?
A1: ระบบการมองเห็นพิเศษสําหรับแผ่นเซรามิก ทําให้มีความแม่นยําในการจัดอันดับในเวลาจริง ± 0.02 มม.

Q2: การบริโภคน้ําในการทําความสะอาดแผ่นเซรามิก?
A2: อัตราการรีไซเคิลน้ํา > 80%, การบริโภค ≤ 0.5L/disc

Q3: วิธีการที่จะบรรลุการเปลี่ยนขนาดของแผ่นไว?
A3: ห้องสมุดเครื่องติดตั้งสมาร์ทของเครื่องที่บูรณาการเปลี่ยนเครื่องมือโดยอัตโนมัติผ่านการเลือก HMI (เวลาเปลี่ยน <3 นาที)

แท็ก: