 |
SiC Wafer Hand for Wafer Handling, ห้องสะอาดที่เข้ากันได้, ทนทานต่อการกัดกร่อน, อินเตอร์เฟซที่สามารถปรับแต่งได้
รายละเอียดสินค้า:
| ชื่อแบรนด์: | ZMSH |
|
ข้อมูลรายละเอียด |
|||
| ความหนาแน่น: | 3.21g/cm ³ | ความแข็ง: | 2500Vickers Hardness |
|---|---|---|---|
| ขนาดเม็ด: | 2 ~ 10μm | ความบริสุทธิ์ทางเคมี: | 99.99995% |
| ความจุความร้อน: | 640J · KG-1 · K-1 | อุณหภูมิระเหิด: | 2700 ℃ |
รายละเอียดสินค้า
การนําเสนอผลิตภัณฑ์ของ Wafer Hand
มือแผ่น SiC เป็นเครื่องทํางานปลายที่ออกแบบมาเพื่อการจัดการกับแผ่นที่มีความแข็งแรงสูงและความมั่นคงทางความร้อนมันมีความแข็งแรงทางกลที่ดีมาก, ความต้านทานต่อการกัดกรอง ความทนทานทางความร้อน และการทํางานที่สะอาดสุดและ sapphire ในห้องสะอาดและสภาพแวดล้อมอุณหภูมิสูง.
โครงสร้างและหลักการทํางานของ Wafer Hand
มือแผ่น SiC คอยรองรับแผ่นด้วยขอบหรือด้านหลัง โดยใช้โครงสร้างคล้ายกระดาน หรือแพลตฟอร์มตามสั่งหรือจับกลไกสามารถถ่ายทอดโดยไม่ต้องสัมผัสหรือสัมผัสอย่างน้อยความแข็งแกร่งทางโครงสร้างสูงของมันทําให้ความมั่นคงด้านมิติระหว่างการขนส่ง ทําให้การตั้งตําแหน่งของโวฟเฟอร์แม่นยําและความเสี่ยงในการติดเชื้อน้อยที่สุด
สาขาใช้งานของ Wafer Hand
มือกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษกระดาษ
1ระบบขนส่งแผ่น (เช่น EFEM, FOUP loader, SMIF pod interface)
2.การบรรจุ/บรรจุแผ่นแผ่นสําหรับการฉลาก ลิทโกรฟี, การฉลาก, การปลูกยอน, การแปรรูปด้วยความร้อน
3เครื่องมือตรวจสอบ, การคัดแยกและการจัดหมวด
4การผสมผสาน, การตัด, การบรรจุ, และสถานีทดสอบสุดท้าย
5การทํางานอย่างแม่นยําในแผ่นแสดงภาพ, MEMS และการผลิตชีวชิป
6.เหมาะสําหรับ Si, SiC, GaAs, GaN, sapphire และสับสราตอื่น ๆ
ข้อดีของสินค้าของ Wข้างมือ
A: รองรับแผ่นขนาด 2 นิ้วถึง 12 นิ้ว; ขนาดตามสั่งก็มีอยู่ด้วย
คําถามที่ 2: มือของกระปุกจะขีดข่วนหรือปนเปื้อนกระปุกหรือไม่?
ตอบ: ไม่ มือทําจากวัสดุที่มีอนุภาคน้อย และทนทานกับการสกัดขอบ
คําถามที่ 3: สามารถบูรณาการกับระบบหุ่นยนต์ได้หรือไม่?
ตอบ: ครับ มันรองรับอินเตอร์เฟซหุ่นยนต์ต่าง ๆ (ตัวอย่างเช่น มาตรฐาน SECS / GEM, SEMI) และสามารถปรับแต่งได้สําหรับระบบเฉพาะเจาะจง
Q4: ชีวิตการใช้งานและความต้องการในการบํารุงรักษาที่คาดหวังคืออะไร?
A: ออกแบบให้ใช้งานได้มากกว่า 1 ล้านรอบ ด้วยการบํารุงรักษาอย่างน้อย การทําความสะอาดระยะเวลาก็เพียงพอ
Q5: สามารถปรับแต่งได้บนพื้นฐานของวัสดุวอล์ฟที่แตกต่างกัน (Si, SiC, Sapphire, ฯลฯ)
ตอบ: ครับ เรานําเสนอการออกแบบที่กําหนดเองที่ปรับปรุงให้กับวัสดุแผ่นต่างๆ ด้วยโครงสร้างรองรับที่เหมาะสม
สินค้าที่เกี่ยวข้อง
12 นิ้ว SiC Wafer 300 มิลลิเมตร Silicon Carbide Wafer สายนํา Dummy เกรด N-Type เกรดการวิจัย
4H/6H P-Type Sic Wafer 4 นิ้ว 6 นิ้ว Z Grade P Grade D Grade Off Axis 2.0°-4.0° สู่ P-type Doping