ภาพรวมผลิตภัณฑ์

สารตั้งต้นที่เคลือบด้วย Sapphire ITO เป็นวัสดุประสิทธิภาพสูงประกอบด้วยเวเฟอร์คริสตัลเดี่ยวแซฟไฟร์ (Al₂O₃) เคลือบด้วยฟิล์มบางอินเดียมทินออกไซด์ (ITO) ที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าโปร่งใส.

การรวมกันนี้รวมเอา:

• ที่ความแข็งแรงทางกลที่ยอดเยี่ยมและความเสถียรทางความร้อนของแซฟไฟร์
• ที่การนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมและความโปร่งใสทางแสงของ ITO

เมื่อเปรียบเทียบกับซับสเตรต ITO ที่ใช้แก้วทั่วไป พบว่ามีโซลูชันที่ใช้แซฟไฟร์ความทนทานที่เหนือกว่า ช่วงการส่งผ่านแสงที่กว้างขึ้น และประสิทธิภาพที่ดีขึ้นในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานออปโตอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง

โครงสร้างและหลักการทำงาน

อิโตะ (Indium Tin Oxide) คือออกไซด์นำไฟฟ้าโปร่งใส (TCO)ที่ทำให้ทั้งการนำไฟฟ้าและการส่งผ่านแสง

โดยทั่วไปชั้น ITO จะสะสมอยู่บนพื้นผิวแซฟไฟร์โดยใช้:

• การสปัตเตอร์แมกนีตรอน
• การระเหยของลำอิเล็กตรอน
• การสะสมของเลเซอร์พัลซิ่ง (PLD)

หลักการทำงาน:

• การเคลือบ ITO จะเกิดเป็นชั้นสื่อกระแสไฟฟ้าบาง ๆ
• ไพลินทำหน้าที่เป็นพื้นผิวที่มีความโปร่งใสสูงและมีความแข็งแรงสูง
• ร่วมกันทำหน้าที่เป็นวัสดุอิเล็กโทรดโปร่งใส

คุณสมบัติที่สำคัญ

• การส่งผ่านแสงสูง:≥85% (ช่วงที่มองเห็นได้)
• ความต้านทานของแผ่นต่ำ:5–100 โอห์ม/□
• เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม:เหมาะสำหรับกระบวนการที่มีอุณหภูมิสูง
• ความแข็งที่โดดเด่น:Mohs 9 (กันรอยขีดข่วน)
• การส่งผ่านสเปกตรัมกว้าง:ยูวีเป็นอินฟราเรด
• การยึดเกาะของการเคลือบที่แข็งแกร่งและความทนทาน

การใช้งาน

พื้นผิวเคลือบ Sapphire ITO ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายใน:

• LED ที่ใช้ GaN (อิเล็กโทรดโปร่งใส)
• เครื่องตรวจจับแสง UV และเซ็นเซอร์
• ระบบเลเซอร์และหน้าต่างแสง
• อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ที่อุณหภูมิสูง
• MEMS และอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์
• ส่วนประกอบนำไฟฟ้าโปร่งใสเฉพาะทาง

ข้อมูลจำเพาะทั่วไป

กระบวนการผลิต

1. การขัดและทำความสะอาดพื้นผิวแซฟไฟร์
2. การสะสมสูญญากาศของฟิล์มบางของ ITO
3. การอบอ่อนด้วยความร้อน (เพื่อเพิ่มการนำไฟฟ้าและความโปร่งใส)
4. การพิมพ์หินและลวดลายเสริม
5. การตรวจสอบขั้นสุดท้ายและบรรจุภัณฑ์

คำถามที่พบบ่อย

คำถามที่ 1: แซฟไฟร์มีข้อดีเหนือกระจกสำหรับการเคลือบ ITO คืออะไร
ตอบ: แซฟไฟร์มีความแข็งสูงกว่าอย่างเห็นได้ชัด ต้านทานความร้อนได้ดีกว่า และช่วงการส่งผ่านแสงที่กว้างกว่า ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่ต้องการ

คำถามที่ 2: ความหนาของ ITO ส่งผลต่อประสิทธิภาพอย่างไร
ตอบ:

• ITO ที่หนาขึ้น → ความต้านทานลดลงแต่ลดความโปร่งใส
• ITO ที่บางลง → ความโปร่งใสที่สูงขึ้นแต่มีความต้านทานเพิ่มขึ้น

คำถามที่ 3: อิเล็กโทรดที่มีลวดลายสามารถประดิษฐ์ขึ้นได้หรือไม่
ตอบ: ได้ รูปแบบที่กำหนดเองสามารถทำได้ผ่านกระบวนการถ่ายภาพหินและการแกะสลัก

Q4: มีการเคลือบสองด้านหรือไม่?
ตอบ: ได้ สามารถเคลือบ ITO ทั้งด้านเดียวและสองด้านได้ตามความต้องการใช้งาน